에피택셜 단결정 Si 플레이트

에피택셜 단결정 Si 플레이트의 가장 중요한 특성은 우수한 밀도에 있습니다. 탄화규소 코팅과 흑연 기판의 통합은 고온 및 부식성 환경에서 직면하는 엄격한 조건에 대해 차폐에 적합한 포괄적인 밀도를 제공합니다. 또한, 단결정 합성에 맞게 제작된 탄화규소 코팅 서셉터는 예외적으로 균일한 표면 프로파일을 자랑합니다. 이는 완벽한 품질의 웨이퍼를 지속적으로 생산하는 데 중요한 결정 요소입니다.

당사 제품 설계에서 마찬가지로 중요한 것은 흑연 코어와 실리콘 카바이드 피복 사이의 열팽창 불일치를 완화하는 것입니다. 이러한 혁신은 접착 견고성을 현저히 증가시켜 균열 및 층화 현상을 방지합니다. 이와 동시에 에피택셜 단결정 Si 플레이트는 생산 주기 동안 온도의 균질성을 달성하는 데 중요한 요소인 균일한 열 할당에 대한 칭찬할 만한 성향과 함께 높은 열 전도성을 나타냅니다.

또한 에피택시얼 단결정 Si 플레이트는 고온에서 산화 및 부식 분해에 대한 뛰어난 탄력성을 보여줌으로써 수명과 신뢰성을 뒷받침합니다. 열 내구성에 대한 임계값은 상당한 융점으로 강조되므로 숙련된 반도체 제조에 내재된 까다로운 열 환경을 견딜 수 있는 용량을 보장합니다.