단결정 실리콘 Epi 서셉터

단결정 실리콘 에피 서셉터는 Si-GaN 에피택시 공정용으로 설계된 필수 구성 요소로, 개별화된 사양과 선호도에 맞게 맞춤화할 수 있으며 특정 요구 사항에 완벽하게 맞는 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 치수 수정이든 코팅 두께 조정이든 당사는 다양한 공정 매개변수를 수용하는 제품을 설계하고 제공하여 목표 응용 분야에 대한 성능을 최적화할 수 있는 역량을 보유하고 있습니다. 경쟁력 있는 재정적 고려 사항과 결합된 시장 선도적인 품질에 대한 Semicorex의 약속은 귀하의 반도체 웨이퍼 운송 요건을 충족하기 위한 파트너십 구축에 대한 우리의 열의를 확고히 합니다.

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제품 설명

에피택시 성장 공정의 서셉터에는 높은 온도를 견디고 엄격한 화학적 세척 절차를 견딜 수 있는 능력이 필요합니다. 단결정 실리콘 에피 서셉터는 에피택시 장비 응용 분야에서 직면하는 이러한 까다로운 요구 사항을 특별히 충족하도록 세심하게 설계되었습니다.

이 서셉터는 열에 대한 탁월한 저항성을 부여하는 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 흑연으로 구성된 구조를 자랑하며, 일관된 에피택시 층 두께와 저항을 위해 균일한 열 분포를 보장합니다.

또한, 단결정 실리콘 에피 서셉터(Single-crystal Silicon Epi Susceptor)는 강한 화학 세척제에 대해 뛰어난 내구성을 나타냅니다. 미세한 SiC 크리스탈 코팅을 활용하면 깨끗하고 매끄러운 표면을 얻을 수 있으며, 이는 오염되지 않은 웨이퍼가 전체 표면적에 걸쳐 수많은 지점에서 서셉터와 접촉하기 때문에 효과적인 취급에 가장 중요합니다.

단결정 실리콘 에피 서셉터를 활용하면 흔들림 없는 신뢰성과 수명 연장이 보장되어 빈번한 교체 필요성이 줄어들고 가동 중지 시간과 유지 관리 비용이 최소화됩니다. 견고한 구조와 탁월한 운영 능력은 공정 효율성 향상에 크게 기여하여 궁극적으로 반도체 제조 운영 영역에서 생산성과 비용 효율성을 향상시킵니다.