단결정 실리콘 에피택셜 서셉터

흑연 에피택시 및 웨이퍼 처리 공정에 적합한 Semicorex 초순수 단결정 실리콘 에피택시 서셉터는 오염을 최소화하고 매우 긴 수명 성능을 제공합니다. 당사의 제품은 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽 및 미국 시장의 많은 부분을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Semicorex 단결정 실리콘 에피택시 서셉터는 고순도 SiC로 코팅된 흑연 제품으로 내열성과 내식성이 우수합니다. 반도체 웨이퍼에 에피택셜층을 형성하는 공정에 사용되는 CVD 탄화규소 코팅 캐리어로, 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.
당사의 단결정 실리콘 에피택셜 서셉터는 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
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단결정 실리콘 에피택셜 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300

단결정 실리콘 에피택셜 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.
- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.