수평형 석영 웨이퍼 보트

수평형 석영 웨이퍼 보트일반적으로 외부 가열 장치에 의해 가열되는 열처리 장비의 노 튜브 내에서 반도체 웨이퍼를 수평으로 유지합니다. 이 제품은 열 산화, 고온 확산, 어닐링, 화학 기상 증착(CVD) 공정과 같은 까다로운 고온 부식성 반도체 열처리 공정에 널리 사용됩니다.

Semicorex 수평형 석영 웨이퍼 보트의 기능

1.안정적인 유지 및 고정

Semicorex 수평형 석영 웨이퍼 보트는 탁월한 내하중 능력을 갖추고 있으며 여러 반도체 웨이퍼를 지속적으로 안정적으로 지원할 수 있습니다. 그리고 최적화된 외부 디자인과 정밀한 슬롯 구조로웨이퍼수평 석영 웨이퍼 보트에 완벽하게 장착되고 단단히 고정되어 운송 및 제조 공정 중 흔들림, 변위 및 기울어짐으로 인해 발생하는 웨이퍼 긁힘 및 충돌을 크게 줄입니다.

2.공정 균일성 지원

수평 석영 웨이퍼 보트의 동일한 간격의 슬롯 구조는 반도체 웨이퍼의 질서 있는 배치를 허용하여 고온로에서 안정적이고 원활한 가스 흐름 필드를 생성합니다. 구조적 설계는 각 웨이퍼 표면에서 일관된 가스 접촉과 반응 속도를 달성함으로써 불완전한 웨이퍼 산화, 불균일한 박막 증착, 도핑 농도 편차 등 불균일한 가열 및 차별적인 가스 접촉으로 인해 발생하는 다양한 결함을 효과적으로 줄입니다.

3. 오래 지속되는 서비스 수명

석영 소재의 뛰어난 내열성 덕분에 Semicorex 수평형 석영 웨이퍼 보트는 변형이나 용융 없이 오랫동안 1100~1200℃의 고온을 견딜 수 있습니다.석영산소, 질소, 염화수소 등 반도체 공정에서 일반적으로 사용되는 가스에 화학적으로 불활성입니다. 이러한 탁월한 화학적 불활성은 공정 가스로 인한 부식 위험을 최소화하여 서비스 수명을 크게 연장하고 장비 교체 시간과 비용을 줄일 수 있습니다.