석영 확산 보트

화학 기상 증착(CVD)에서 Quartz Diffusion Boat의 역할은 반도체 기판에 박막을 균일하게 증착하는 데 매우 중요합니다. Quartz Diffusion Boat의 정밀한 엔지니어링 덕분에 웨이퍼가 제자리에 단단히 고정되어 표면에 기체 반응물이 고르게 분포될 수 있습니다. 이러한 균일성은 반도체 장치의 전기적 성능에 직접적인 영향을 미치는 일관된 필름 두께와 구성을 달성하는 데 필수적입니다. Semicorex Quartz Diffusion Boat는 CVD 공정에서 일반적으로 발생하는 고온 및 부식 환경을 견딜 수 있도록 설계되어 장기적인 내구성과 신뢰성을 보장합니다.

열 산화는 실리콘 웨이퍼 표면에 이산화규소 층이 성장하는 반도체 제조의 또 다른 중요한 공정입니다. 이 산화물 층은 절연체 역할을 하며 반도체 장치의 적절한 기능에 필수적입니다. 석영 확산 보트는 탁월한 열 안정성을 제공하도록 설계되어 산화 공정 중에 웨이퍼가 균일한 온도 프로파일에 노출되도록 합니다. 이러한 균일성은 최종 반도체 장치의 성능과 신뢰성을 향상시키는 일관된 고품질 산화물 층의 성장에 필수적입니다.

물리적, 화학적 특성을 변경하기 위해 웨이퍼의 가열 및 냉각을 제어하는 ​​어닐링은 석영 확산 보트가 중요한 역할을 하는 또 다른 프로세스입니다. 어닐링 중 온도와 분위기를 정밀하게 제어하는 ​​것은 실리콘의 결정 구조를 개선하고, 도펀트를 활성화하며, 결함을 줄이는 데 중요합니다. Semicorex Quartz Diffusion Boat는 어닐링 공정의 전형적인 고온 및 급격한 온도 변화 하에서 구조적 무결성과 열 안정성을 유지하도록 설계되었습니다. 이러한 안정성은 웨이퍼가 균일하게 처리되어 원하는 재료 특성을 달성하고 반도체 장치의 성능을 향상시키는 것을 보장합니다.

다양한 반도체 제조 공정에는 고유한 요구 사항이 있으므로 맞춤 제작은 Quartz Diffusion Boat의 핵심 측면입니다. Semicorex에서는 고객의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 맞춤형 모양과 크기를 제공합니다. 당사의 제품 라인에는 석영 보트, 슬로팅 보트, 플랫팅 보트, 스탠딩 보트 등 다양한 유형의 석영 웨이퍼 캐리어가 포함됩니다. 우리는 3", 4", 5", 6", 7", 8" 웨이퍼를 포함한 다양한 사양의 웨이퍼 캐리어 생산을 전문으로 합니다. 투명 용융 재료와 불투명 재료를 모두 사용할 수 있으므로 각 응용 분야의 특정 요구 사항에 맞는 솔루션을 제공할 수 있습니다.

당사의 제조 역량은 먼지 없는 용접실과 높은 수준의 가공 작업장을 포함한 최첨단 시설을 통해 뒷받침됩니다. 우리는 레이저 커팅, CNC 머시닝 센터, CNC 슬로팅 머신, 효율적인 워터 커팅과 같은 첨단 기술을 활용하여 Quartz Diffusion Boat의 최고의 품질과 정밀도를 보장합니다. 이러한 첨단 제조 공정을 통해 정확한 치수와 우수한 표면 마감을 갖춘 석영 보트를 생산할 수 있어 반도체 제조 공정에서 최적의 성능을 보장합니다.