석영 12인치 보트

정밀하게 설계되고 고순도 석영으로 제작된 Semicorex Quartz 12인치 보트는 웨이퍼 처리의 섬세하고 중요한 작업에 최적의 솔루션을 제공합니다.

반도체 제조의 핵심인 장비의 품질과 신뢰성은 최종 제품의 성능과 수율에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. Quartz 12인치 보트는 비교할 수 없는 열 안정성, 내화학성 및 기계적 강도를 제공하여 이러한 점에서 탁월합니다. 뛰어난 특성으로 인해 고온 어닐링, 화학 기상 증착(CVD) 및 산화를 포함한 다양한 처리 단계에서 웨이퍼가 안전하게 고정되고 보호됩니다.

Quartz 12인치 보트의 뛰어난 특징 중 하나는 뛰어난 열 안정성입니다. 석영은 변형이나 분해 없이 극한의 온도를 견딜 수 있는 능력으로 유명합니다. 이는 웨이퍼 오염이나 파손을 방지하기 위해 구조적 무결성을 유지하는 것이 필수적인 고온 공정에서 특히 중요합니다. Quartz 12인치 보트 디자인은 석영의 열 특성을 최대한 활용하여 균일한 열 분포를 보장하고 웨이퍼의 열 응력을 최소화합니다. 이는 보다 일관된 프로세스와 더 높은 품질의 결과로 이어집니다.

열 안정성 외에도 Quartz 12인치 보트는 탁월한 내화학성을 나타냅니다. 반도체 제조 과정에서 웨이퍼는 산, 알칼리, 반응성 가스를 포함한 다양한 화학 물질에 노출됩니다. 고순도 석영 소재는 본질적으로 이러한 부식성 물질에 대한 저항력이 있어 웨이퍼를 손상시킬 수 있는 부작용을 방지합니다. 이러한 화학적 불활성은 보트에 불순물이 유입되지 않도록 하여 제조되는 반도체 장치의 무결성과 순도를 유지합니다.