석영 웨이퍼 보트

석영 웨이퍼 보트. 이는 반도체 및 광전지 제조에 없어서는 안될 핵심 부품으로, 고정밀 및 고효율 생산을 안정적으로 보장합니다.웨이퍼. 이는 반도체 및 광전지 제조에 없어서는 안될 핵심 부품으로, 고정밀 및 고효율 생산을 안정적으로 보장합니다.

석영 웨이퍼 보트는 특정 모양과 치수로 정밀 가공되어 다양한 반도체 공정 장비와의 호환성이 뛰어납니다. 정밀하게 설계된 내부 슬롯과 최적화된 구조 설계는 노치 정확도, 평행성 및 수직성에 대한 웨이퍼 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하여 웨이퍼의 물리적 손상 위험을 효과적으로 줄입니다.

Semicorex가 선택한 석영 소재는 순도가 ≥99.995%이고 불순물 함량이 매우 낮아 반도체 생산 작업 흐름에서 중요한 공정의 엄격한 순도 요구 사항을 충족하고 웨이퍼 오염을 효과적으로 방지할 수 있습니다.

이 고순도 석영은 뛰어난 고온 저항, 낮은 열팽창 계수, 강력한 화학적 안정성 등 뛰어난 특성을 나타내어 반도체 제조의 복잡한 공정 요구 사항에 적응할 수 있습니다. 1200°C 정도의 고온 환경에서 안정적이고 장기적으로 작동할 수 있어 반도체 확산, 산화, 어닐링, 태양광 전지의 고온 확산과 같은 공정의 요구 사항을 충족하며, 고온 가공 중 변형이나 용융으로 인해 웨이퍼나 실리콘 웨이퍼가 손상되지 않도록 보장합니다.

화학적 안정성이 강해 반도체 공정에 사용되는 가스나 태양광 생산에 사용되는 화학 시약과 반응할 가능성이 낮고 불순물을 배출하지 않아 생산 환경의 높은 청정도를 보장해 제품의 순도를 보장하고 공정의 안정성을 보장한다.