Semicorex LPE 부품은 SiC 에피택시 공정용으로 특별히 설계된 SiC 코팅 부품으로, 뛰어난 열 안정성과 내화학성을 제공하여 고온 및 열악한 환경에서 효율적인 작동을 보장합니다. Semicorex 제품을 선택하면 SiC 에피택시 성장 프로세스를 최적화하고 생산 효율성을 향상시키는 고정밀, 오래 지속되는 맞춤형 솔루션의 이점을 누릴 수 있습니다.*
Semicorex LPE 부품은 SiC 에피택시 공정에 사용하도록 특별히 설계된 고성능 SiC 코팅 부품입니다. 이러한 구성 요소는 SiC 결정 성장의 까다로운 조건을 견딜 수 있도록 설계되어 탁월한 열 안정성, 내화학성 및 기계적 강도를 제공합니다. Semicorex의 LPE 부품을 선택하면 탁월한 내구성, 정밀도 및 SiC 에피택시 공정 요구 사항에 맞는 맞춤형 솔루션이 보장됩니다.
Semicorex LPE 부품은 고급 소재와 정밀 제조 기술로 제작되어 모든 장치의 일관성과 신뢰성을 보장합니다. 코팅의 물리적, 화학적 특성은 제품의 수율과 수명에 직접적인 영향을 미치는 고온 저항 및 내식성에 대한 엄격한 요구 사항을 갖습니다. SiC 소재는 강도가 높고 경도가 높으며 열팽창 계수가 낮고 열전도율이 좋습니다. 중요한 고온 구조 재료 및 고온 반도체 재료입니다. 흑연베이스에 적용됩니다. 장점은 다음과 같습니다.
1) SiC는 부식에 강하고 흑연 베이스를 완전히 감쌀 수 있으며 부식성 가스에 의한 손상을 방지할 수 있는 밀도가 좋습니다. 2) SiC는 높은 열전도율과 흑연 베이스와의 결합력이 높아 여러 번의 고온, 저온 사이클을 거친 후에도 코팅이 쉽게 떨어지지 않습니다. 3) SiC는 화학적 안정성이 우수하여 고온 및 부식성 분위기에서 코팅이 실패하는 것을 방지합니다. 또한, 다양한 재료의 에피택셜 퍼니스에는 다양한 성능 지표를 갖춘 흑연 트레이가 필요합니다. 흑연 재료의 열팽창 계수를 일치시키려면 에피택셜로의 성장 온도에 대한 적응이 필요합니다. 예를 들어 탄화규소 에피택시 온도가 높기 때문에 열팽창 계수가 일치하는 트레이가 필요합니다. SiC의 열팽창 계수는 흑연의 열팽창 계수와 매우 유사하므로 흑연 베이스의 표면 코팅에 선호되는 재료로 적합합니다.
SiC 에피택시 공정의 응용
SiC 에피택시 공정은 전력 전자공학과 광전자공학을 포함한 반도체 장치에 사용되는 고품질 SiC 웨이퍼 생산에 있어 중요한 단계입니다. LPE 부품, 특히 SiC 코팅 부품은 반응기 내 온도 및 화학 반응을 정밀하게 제어하는 데 필수적인 역할을 합니다. 이러한 구성 요소는 SiC 결정의 순도와 균일성을 유지하면서 최적의 웨이퍼 성장을 촉진하기 위해 반응기에 전략적으로 배치됩니다.
Semicorex에서는 모든 SiC 에피택시 프로세스에 고유한 요구 사항이 있다는 것을 알고 있습니다. 그렇기 때문에 당사의 LPE 부품은 귀하의 작업의 특정 요구 사항을 충족하도록 완전히 맞춤화될 수 있습니다. 크기, 모양, 코팅 두께 등 당사 엔지니어링 팀은 고객과 긴밀히 협력하여 생산 공정을 최적화하는 구성 요소를 제공합니다.
부품에 적용된 고품질 SiC 코팅은 뛰어난 내구성을 보장합니다. 기존 소재와 달리 SiC는 열악한 작동 조건에서 더 긴 수명을 제공하여 유지 관리 빈도와 가동 중지 시간을 줄입니다. 이러한 수명은 반도체 제조업체의 운영 비용을 낮추고 효율성을 향상시킵니다.
Semicorex LPE 부품은 SiC 에피택시 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 정밀하게 설계되고 설계되었습니다. 당사의 부품은 최신 기술을 사용하여 생산되므로 비교할 수 없는 성능과 수명을 보장합니다. Semicorex를 선택함으로써 귀하는 반도체 제조의 복잡성을 이해하고 생산 능력을 향상시키는 신뢰할 수 있는 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하는 파트너를 선택하는 것입니다.
Semicorex LPE 부품SiC 코팅는 SiC 에피택시 반응기의 성능과 수명을 향상시키기 위한 이상적인 선택입니다. 이러한 구성 요소는 뛰어난 열 안정성, 내화학성 및 기계적 강도를 제공하여 SiC 결정 성장 공정이 원활하고 효율적으로 진행되도록 보장합니다. 맞춤형 옵션을 사용할 수 있는 Semicorex는 특정 프로세스 요구 사항을 충족하는 맞춤형 솔루션을 제공하여 전 세계 반도체 제조업체의 신뢰할 수 있는 파트너가 되었습니다.