반도체용 MOCVD 플래닛 서셉터

Semicorex는 반도체 업계에서 신뢰받는 기업으로, 반도체용 고품질 MOCVD Planet Susceptor를 제공하고 있습니다. 당사의 제품은 탁월한 성능, 안정성 및 내구성을 제공할 수 있는 캐리어를 찾는 반도체 제조업체의 특정 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 당사 제품에 대한 자세한 내용과 귀하의 반도체 제조 요구 사항에 대해 당사가 어떻게 도움을 드릴 수 있는지 알아보려면 지금 당사에 문의하십시오.

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제품 설명

당사의 반도체용 MOCVD 플래닛 서셉터는 고온 산화 저항성을 갖추고 있어 최대 1600°C의 고온에서도 안정성을 보장합니다. 또한 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착을 통해 만들어진 고순도 제품으로 열 프로파일과 층류 가스 흐름 패턴까지 제품의 균일성과 일관성을 보장합니다.
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반도체용 MOCVD 플래닛 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특징

- 벗겨짐을 방지하고 모든 표면에 코팅을 보장합니다.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세한 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
- 최상의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지