MOCVD 서셉터

Semicorex MOCVD 서셉터는 고온 환경을 견디고 웨이퍼 생산 공정에 자주 사용되는 가혹한 화학 체제에 저항하도록 특별히 제작되었습니다. 정밀 엔지니어링을 통해 이러한 구성 요소는 에피택셜 반응기 시스템의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 맞춤화되었습니다. 프리미엄 흑연에 탄화규소(SiC)를 코팅한 MOCVD 서셉터의 구성은 극한의 열 및 부식 조건에서 견고성을 제공할 뿐만 아니라 균일한 열 분포를 보장하여 에피택셜 필름 증착에서 일관된 품질을 유지하는 데 중요합니다.

또한 MOCVD 서셉터의 뛰어난 열적 특성으로 인해 반도체 성장 중에 온도를 신속하고 균일하게 관리하여 생산 공정을 최적화할 수 있습니다. 고온, 산화 및 부식에 대한 내성은 가장 까다로운 작동 환경에서도 신뢰할 수 있는 기능을 보장합니다.

또한 MOCVD 서셉터는 단결정 기판 합성에 중요한 균일성에 중점을 두고 설계되었습니다. 달성된 평탄성 수준은 웨이퍼 표면에서 우수한 단결정 성장을 달성하는 데 필수적입니다.

Semicorex에서는 업계 벤치마크를 능가하려는 우리의 열정에 맞설 수 있는 것은 파트너를 위한 비용 효율성에 대한 우리의 약속입니다. 우리는 반도체 제조의 진화하는 요구 사항을 충족할 뿐만 아니라 이를 예측하여 귀하의 작업에 최고의 도구가 장착되도록 보장하는 MOCVD 서셉터와 같은 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.