> 소식

소식

MOCVD에 대해 알아보기

MOCVD는 기상 에피택셜 성장(VPE)을 기반으로 개발된 새로운 기상 에피택셜 성장 기술이다.

물리적 증기 수송법(PVT)을 통해 SiC 및 AlN 단결정을 성장시키는 과정에서 도가니, 종자정 홀더, 가이드 링과 같은 구성 요소가 중요한 역할을 합니다. SiC 제조 과정에서 종자결정은 상대적으로 낮은 온도 영역에 위치하는 반면, 원료는 2400°C를 초과하는 고온 영역에 위치합니다. 원료는 고온에서 분해되어 SiXCy(Si, SiC2, Si2C 및 기타 구성 요소 포함)를 형성합니다.

더 읽어보기

기판 절단 및 연삭 공정

SiC 기판 소재는 SiC 칩의 핵심이다. 기판의 생산 공정은 다음과 같습니다: 단결정 성장을 통해 SiC 결정 잉곳을 얻은 후; 그런 다음 SiC 기판을 준비하려면 다듬기, 둥글게 하기, 절단, 연삭(얇게 하기)이 필요합니다. 기계 연마, 화학 기계 연마; 및 청소, 테스트 등 프로세스

더 읽어보기

최초의 6인치 산화갈륨 기판 산업화 기업

최근 당사에서는 캐스팅 공법을 이용한 6인치 산화갈륨 단결정 개발에 성공하여 국내 업계 최초로 6인치 산화갈륨 단결정 기판 준비 기술을 보유했다고 발표했습니다.

더 읽어보기

구조가 다른 SiC 결정의 차이점

탄화규소(SiC)는 탁월한 열적, 물리적, 화학적 안정성을 보유하고 기존 소재보다 뛰어난 특성을 나타내는 소재입니다. 열전도율은 84W/(m·K)로 구리보다 높을 뿐만 아니라 실리콘보다 3배나 높다. 이는 열 관리 애플리케이션에 사용할 수 있는 엄청난 잠재력을 보여줍니다.

더 읽어보기

흑연에 TaC 코팅이란 무엇입니까?

빠르게 발전하는 반도체 제조 분야에서는 최적의 성능, 내구성 및 효율성을 달성하는 데 있어 아주 작은 개선이라도 큰 차이를 만들 수 있습니다. 업계에서 많은 화제를 불러일으키는 발전 중 하나는 흑연 표면에 TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅을 사용하는 것입니다. 그런데 TaC 코팅이란 정확히 무엇이며, 반도체 제조사들이 이에 주목하는 이유는 무엇일까?

더 읽어보기

<...16 17 18 19 20...30 >

소식

MOCVD에 대해 알아보기

TaC 코팅 흑연 부품의 응용

기판 절단 및 연삭 공정

최초의 6인치 산화갈륨 기판 산업화 기업

구조가 다른 SiC 결정의 차이점

흑연에 TaC 코팅이란 무엇입니까?