행성 디스크
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행성 디스크

Semicorex 유성 디스크, MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 가열로 내에서 MBE(분자 빔 에피택시) 공정을 위해 설계된 탄화 규소 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터 또는 캐리어입니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Planetary Disk는 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 가열로 내에서 MBE(분자 빔 에피택시) 공정을 위해 설계된 혁신적인 웨이퍼 캐리어 및 서셉터입니다. 고품질 소재로 제작된 Planetary Disk는 반도체 제조 수준을 새로운 차원으로 끌어올릴 수 있도록 설계되었습니다.

플래니터리 디스크는 CVD SiC 코팅 흑연으로 꼼꼼하게 제작되어 탁월한 열 안정성, 고순도 및 극한 온도에 대한 저항성을 보장합니다. 이 고급 재료 구성은 까다로운 MOCVD 환경에서 탁월한 성능과 수명을 보장합니다.

흑연 기판의 CVD SiC 코팅은 열 전도성을 향상시켜 MOCVD 공정 중 효율적인 열 전달을 촉진합니다. 이 기능은 웨이퍼 전체에 걸쳐 일관된 온도 프로파일을 보장할 뿐만 아니라 열 스트레스를 줄이고 전체 수율을 향상시키는 데에도 기여합니다.

플래니터리 디스크는 맞춤형으로 제작되어 광범위한 반도체 웨이퍼 크기와 호환되므로 다양한 생산 요구 사항에 맞는 다용도 솔루션이 됩니다. MOCVD 가열로의 엄격한 요구 사항을 견딜 수 있도록 제작된 Planetary Disk는 뛰어난 내구성과 신뢰성을 보여줍니다. 견고한 구조로 인해 오래 지속되는 성능이 보장되며, 웨이퍼 캐리어 및 서셉터와 관련된 가동 중지 시간 및 유지 관리 비용이 줄어듭니다.



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