행성 감수자

Semicorex Planetary 감수자는 Aixtron G5+ 장비를 위해 특히 제작 된 반도체 에피 택시 반응기에 없어서는 안될 구성 요소입니다. 고순도 흑연으로 구성됩니다실리콘 카바이드 (sic)로 코팅,이 감수자는 고온 환경에서 우수한 열 안정성, 탁월한 화학 저항 및 비교할 수없는 성능을 보장합니다.

Aixtron G5+ epitaxy Reactor는 GAN, SIC 및 기타 화합물 반도체 성장 공정의 업계에서 벤치 마크로 나타납니다. 행성 감수체는 가스 흐름을 최적화하여 정밀한 웨이퍼 회전을 보장하고, 정확한 온도 제어를 유지하며, 에피 택셜 층의 균일 한 증착을 달성하는 데 중추적입니다. 혁신적인 설계는 프로세스 반복성을 크게 향상시켜 대량 생산 환경에 이상적인 선택입니다.

주요 기능  

- 고급 재료 조성 : SIC 코팅을 갖춘 고급 흑연으로 제작되어 강화 된 내구성과 가혹한 공정 조건에 대한 저항성을 제공합니다.  

- 최적화 된 열 성능 : 고정밀 에피 택셜 층 성장에 중요한 균일 한 열 분포를 보장합니다.  

- 화학 저항 : SIC 코팅은 흑연 산화를 방지하여 감수자의 수명을 연장하고 공정 순도를 유지합니다.  

- 정밀 엔지니어링 : Aixtron G5+ 시스템의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되어 원활한 통합 및 최적의 원자로 효율성을 보장합니다.  

- 높은 표면 균일 성 : 입자 오염을 최소화하여 반도체 제조에서 우수한 웨이퍼 품질과 더 높은 수율을 지원합니다.  

행성 감수자의 장점  

- 확장 된 서비스 수명 :SIC 코팅마모가 크게 줄어들어 교체 빈도가 낮아지고 운영 비용이 줄어 듭니다.  

- 프로세스 안정성 향상 : 일관된 가열 및 최소 열 구배를 보장하여 고품질 웨이퍼 생산으로 이어집니다.  

- 호환성 및 사용자 정의 : 특정 Aixtron G5+ 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 표준 및 맞춤형 설계로 제공됩니다.  

석묵부품은 반도체 프로세스에서 필수 불가능하고 매우 중요한 역할을합니다. 흑연 재료의 품질은 완제품의 품질에 큰 영향을 미칩니다. 우리의 흑연 배치 일관성 및 재료 균질성은 생산 공정을 통해 제어되고 보장 될 수 있습니다.

1. 소규모 배치 생산, 탄화 용광로는 50 입방 미터의 작은 용광로 만 사용합니다.

2. 각 재료 조각은 모니터링되고 추적됩니다

3. 온도 차이가 매우 작은 범위로 유지되도록 용광로 공간의 다중 점 온도 모니터링

4. 온도 차이가 매우 작은 범위로 유지되도록 재료에 대한 다중 점 온도 모니터링

Semicorex 행성 감수체는 Aixtron G5+ 원자로의 프리미엄 솔루션으로, 뛰어난 열 안정성, 화학 저항 및 정밀 성능을 제공합니다. 가장 까다로운 반도체 제조 공정을 위해 설계된이 제품은 더 높은 웨이퍼 수율을 유도하고 오염 위험을 최소화하며 장비 수명을 연장합니다. 최고의 결과를 위해 상위 계층 감수자로 에피 택시 시스템을 업그레이드하십시오.