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SIC 산화 튜브

Semicorex Sic 산화 튜브는 고급 반도체 열 처리를 위해 SIC 튜브 용광로에서 사용되는 고성능 성분입니다. 극한 조건에서 장기 안정성을 위해 설계되었습니다. 우수한 재료 순도, 타이트한 치수 제어 및 일관된 제품 품질을 위해 Semicorex를 선택하여 모든 고온 실행에서 최적의 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다.*.

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8 인치 EPI 상단 링

Semicorex 8 인치 EPI 상단 고리는 에피 택셜 성장 시스템에서 상부 커버 링으로 사용하도록 설계된 SIC 코팅 흑연 구성 요소입니다. 고온 반도체 프로세스에서 안정적인 성능과 확장 된 구성 요소 수명을 보장하는 업계 최고의 재료 순도, 정확한 가공 및 일관된 코팅 품질을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*

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8 인치 에피 하단 링

Semicorex 8 인치 에피 하단 고리는 에피 택셜 웨이퍼 처리에 필수적인 강력한 SIC 코팅 흑연 성분입니다. 모든 생산주기에서 타의 추종을 불허하는 재료 순도, 코팅 정밀도 및 신뢰할 수있는 성능을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*

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8. 인치 EPI 지지자

Semicorex 8 인치 EPI 감수자는 에피 택시 증착 장비에 사용하도록 설계된 고성능 SIC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어입니다. Semicorex를 선택하면 반도체 산업의 까다로운 표준을 충족시키기 위해 우수한 재료 순도, 정밀 제조 및 일관된 제품 신뢰성을 보장합니다.*

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알루미나 장착베이스 플레이트

Semicorex Alumina 장착베이스 플레이트는 반도체 제조에서 정확한 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능 세라믹 구성 요소입니다. 우수한 강도, 단열재 및 열 안정성은 클린 룸 자동화 환경을 요구하는 데 이상적입니다.*

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Semicorex 실리콘 카바이드 진공 척은 다공성 실리콘 카바이드에서 제작 된 고성능 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 장착 (왁싱), 삭제, 웨이스, 청소, 다이 싱 및 빠른 열 어닐링 (RTA)과 같은 중요한 공정 동안 반도체 웨이퍼의 진공 흡착을 위해 구체적으로 설계됩니다. 탁월한 재료 순도, 차원 정밀도 및 까다로운 반도체 환경에서 신뢰할 수있는 성능을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*

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