실리콘 카바이드 핀 척

Semicorex의 우수한 제품 품질은 고품질 재료 선택 및 제조 공정에서 비롯됩니다. Semicorex 탄화규소 핀척고순도 분무 과립형 SiC 분말로 만들어지며 등압성형 및 고온 소결로 가공되므로 고정밀 및 고표준 반도체 응용 분야에 매우 적합합니다.

Semicorex 탄화규소 핀척의 장점

1. 고정밀 배열 핀 설계

세미코렉스의 표면탄화규소핀 척에는 수많은 마이크론 크기의 범프가 배열되어 있습니다. 웨이퍼 뒷면과의 접촉은 범프에서만 발생하므로 접촉 면적이 최소화되어 불필요한 웨이퍼 긁힘, 입자 오염 및 마킹을 효과적으로 방지합니다.

2.초정밀 표면처리

Semicorex 탄화규소 핀 척은 정밀 가공 및 연삭을 거칩니다. 표면에 있는 핀의 높이, 직경 및 간격은 엄격하게 제어됩니다. 0.3~0.5μm의 척 평탄도를 달성할 수 있어 최적의 웨이퍼 평면성을 보장하고 불균일한 로딩으로 인한 웨이퍼 왜곡이나 균열을 크게 제거합니다.

3.최적화된 유지비용

Semicorex 탄화규소 핀 척은 탁월한 경도, 우수한 내마모성, 뛰어난 내열성 및 안정적인 화학적 내식성과 같은 여러 가지 우수한 특성을 가지고 있습니다. 따라서 잦은 마모, 고온, 심한 부식 등 까다로운 작동 환경에서도 안정적으로 작동할 수 있어 유지 관리 빈도가 크게 줄어들고 사용 효율성이 높아져 근본적으로 전체 비용이 절감됩니다.

4. 효율적인 생산 효율성

고급 처리 기기 및 장비를 완벽하게 갖춘 Semicorex는 실리콘 카바이드 핀 척 제조에 대한 광범위한 전문 지식과 탄탄한 기술력을 보유하고 있습니다. Semicorex는 수입된 실리콘 카바이드 척에 대한 자격을 갖춘 국내 대안을 공급할 수 있습니다. 해외수입제품에 비해 세미코렉스는 배송기간이 월등히 유리하며, 리드타임을 6~8주 단축하여 고객의 프로젝트 효율성 향상과 대기비용 절감에 효과적으로 도움을 드립니다.

Semicorex 탄화규소 핀척은 우수한 성능을 바탕으로 웨이퍼의 정밀하고 안전한 흡착 및 고정을 위해 자동화된 웨이퍼 제조 생산 라인에서 널리 사용될 수 있으며, 이를 통해 반도체 장치의 성능과 생산 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다.