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실리콘 카바이드 진공 척

Semicorex 실리콘 카바이드 진공 척은 다공성 실리콘 카바이드에서 제작 된 고성능 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 장착 (왁싱), 삭제, 웨이스, 청소, 다이 싱 및 빠른 열 어닐링 (RTA)과 같은 중요한 공정 동안 반도체 웨이퍼의 진공 흡착을 위해 구체적으로 설계됩니다. 탁월한 재료 순도, 차원 정밀도 및 까다로운 반도체 환경에서 신뢰할 수있는 성능을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*

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흑연로드 히터

Semicorex 흑연로드 히터는 진공 용광로 내부의 균일 한 고온 생성을 위해 설계된 고성능 가열 요소입니다. 정밀 엔지니어링 흑연 솔루션에 대한 전문 지식을 위해 Semicorex를 선택하여 우수한 열 안정성과 산업 요구에 맞는 오래 지속되는 성능을 제공하십시오.*.

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흑연 전극 막대

Semicorex 흑연 전극로드는 진공 용광로에서 코어 가열 요소로 사용되는 고급 흑연 구성 요소입니다. 고온 진공 환경에서 타의 추종을 불허하는 재료 품질, 정밀 가공 및 신뢰할 수있는 성능을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*

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알루미나 로봇 팔

Semicorex Alumina Robot Arm은 반도체 제조에서 정확한 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능 세라믹 구성 요소입니다. 우수한 강도, 단열재 및 열 안정성은 클린 룸 자동화 환경을 요구하는 데 이상적입니다.*

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알루미나 세라믹 엔드 이펙터

Semicorex Alumina 세라믹 엔드 이펙터는 반도체 제조 및 관련 응용 분야에서 신뢰할 수 있고 오염이없는 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 정밀 엔지니어링 구성 요소입니다.*

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다공성 sic 척

Semicorex porous sic 척은 반도체 처리에서 안전하고 균일 한 웨이퍼 흡착을 위해 설계된 고성능 세라믹 진공 척입니다. 엔지니어링 된 마이크로 다공성 구조는 우수한 진공 분포를 보장하여 정밀 응용 프로그램에 이상적입니다.*

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