제품

Semicorex 고순도 세 꽃잎 흑연 도가니는 극한의 반도체 열 환경에서 결정 성장 수율을 극대화하도록 설계된 혁신적인 응력 완화 아키텍처를 특징으로 합니다. Semicorex는 신뢰할 수 있는 글로벌 물류를 바탕으로 정밀하게 가공된 흑연 및 세라믹 부품으로 첨단 산업에 힘을 실어 전 세계적으로 세계 최고 수준의 반도체 재료 솔루션을 제공합니다.*

Semicorex Half Moon 구성 요소는 LPE 스타일 에피택셜 성장 챔버에 사용하도록 설계된 정밀 엔지니어링 흑연 및 탄화규소 코팅 반응기 부품입니다. 이러한 구성 요소는 반도체 제조에 사용되는 고온 에피택셜 증착 공정 중 열 균일성, 가스 흐름 안정성 및 공정 청결도를 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. Semicorex는 LPE 챔버 구조와 호환되는 맞춤형 반응기 부품 제조를 전문으로 하며 전 세계적으로 첨단 에피택셜 처리 시스템을 위한 고성능 솔루션을 제공합니다.*

Semicorex SiC 수평로 튜브는 반도체 확산, 산화, 어닐링 및 열처리 시스템용으로 설계된 고급 고온 공정 구성 요소입니다. Semicorex는 전 세계 고객에게 고성능 SiC 수평로 튜브를 공급하여 고온 공정 장비 및 고급 웨이퍼 제조 응용 분야를 위한 안정적인 반도체 등급 세라믹 솔루션을 제공합니다.*

Semicorex SiC 세라믹 가이드 레일은 반도체 제조, 정밀 광학, 평면 패널 디스플레이 생산 및 고급 자동화 시스템의 초정밀 포지셔닝 애플리케이션을 위해 설계된 고급 모션 제어 구성 요소입니다. Semicorex는 글로벌 고객에게 고성능 SiC 세라믹 가이드 레일을 공급하여 뛰어난 정밀도, 신뢰성 및 장기적인 작동 안정성을 갖춘 고급 세라믹 솔루션을 제공합니다.*

Semicorex 탄화 규소 SiC 진공 척은 고정밀 반도체 처리용으로 설계된 정밀 세라믹 웨이퍼 고정 부품으로, 탁월한 열 안정성, 탁월한 평탄도 및 매우 깨끗한 진공 흡착 성능을 제공합니다. Semicorex는 고급 SiC 소재 기술, 정밀 가공 기능 및 엄격한 반도체 등급 품질 관리를 결합하여 전 세계 고객에게 매우 안정적인 진공 척 솔루션을 제공합니다.*

고품질 다공성 탄화규소 세라믹으로 제조된 Semicorex 다공성 SiC 진공 척은 얇고 깨지기 쉬운 웨이퍼를 깨끗하고 손상 없이 처리하기 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 클램핑 도구입니다. Semicorex를 선택하시면 최첨단 반도체 제조 공정을 위한 최적의 웨이퍼 클램핑 및 포지셔닝 솔루션을 즐기실 수 있습니다.