Semicorex SiC 가스 분배 플레이트는 고온 반도체 에피택시 시스템에서 균일한 가스 분배, 우수한 내식성 및 오염 제어를 제공하도록 설계된 정밀 엔지니어링 CVD SiC 코팅 흑연 샤워헤드입니다. Semicorex는 전 세계 반도체 제조업체에 고급 SiC 코팅 흑연 부품을 공급하여 맞춤형 설계, 초고순도 재료 및 8인치, 12인치 및 차세대 웨이퍼 처리 플랫폼을 위한 안정적인 글로벌 배송을 제공합니다.*
프리미엄 탄화규소 세라믹으로 제조된 Semicorex SiC 열 교환기 튜브는 고효율 열 전도 및 교환을 위해 설계되었습니다. 우수한 열전도율, 내열성, 내식성, 기계적 강도를 갖춘 Semicorex SiC 열교환기 튜브는 Shell-and-tube 열교환기에 적용되는 필수 핵심 부품입니다.
단결정 성장로에 널리 사용되는 고효율 발열체인 Semicorex 슬리브형 흑연히터입니다. Semicorex 슬리브형 흑연 히터는 고품질 단결정 실리콘 성장을 위해 특별히 설계된 단결정 용해로에서 광범위하게 사용되는 중요한 가열 구성 요소입니다. Semicorex를 선택하는 것은 이상적인 가열 처리 솔루션을 선택하는 것입니다.
재료 과학, 화학 공학 및 정밀 제조 전반에 걸쳐 최첨단 기술을 통합한 Semicorex 탄소 세라믹 복합 브레이크 디스크는 탄소 섬유와 SiC 세라믹의 최적 조합입니다. 탄소섬유 강화 실리콘카바이드(C/SiC)로 정밀하게 제작된 세미코렉스 카본 세라믹 복합 브레이크 디스크는 안전 운전을 보장하는 고성능 제동 부품입니다.
Semicorex 에피택셜 석영 샤프트는 반도체 에피택셜 리액터용으로 특별히 설계된 고정밀 부품으로, 까다로운 고온 환경에서 웨이퍼 서셉터의 정확하고 안정적인 움직임을 보장하기 위해 뛰어난 기계적 지지력과 위치 지정 기능을 제공합니다. Semicorex는 재료 과학 및 첨단 제조 분야의 깊은 전문 지식을 활용하여 전 세계 반도체 고객에게 고성능 석영 부품 및 재료 솔루션을 제공합니다.*