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원통형 흑연 히터

Semicorex 원통형 흑연 히터는 단결정 실리콘 성장의 핫존을 위해 특별히 설계된 저항성 가열 장치입니다. 프리미엄 소재 선택과 검증된 처리 기술을 바탕으로 Semicorex는 업계 최고의 성능과 현저히 낮은 총 소유 비용을 갖춘 독보적인 난방 솔루션을 소중한 고객에게 제공합니다.

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LPCVD용 퍼니스 튜브

LPCVD용 Semicorex 퍼니스 튜브는 균일하고 조밀한 CVD SiC 코팅이 적용된 정밀 제조된 관형 부품입니다. 첨단 저압 화학 기상 증착 공정을 위해 특별히 설계된 LPCVD용 Semicorex 퍼니스 튜브는 적합한 고온, 저압 반응 환경을 제공하여 웨이퍼 박막 증착의 품질과 수율을 향상시킬 수 있습니다.

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흑연 절연 쉴드

Semicorex Graphite Insulation Shield는 열 효율을 개선하고 중요한 가열로 핫존 구조를 보호하도록 설계된 고온 강성 흑연 펠트 구성 요소입니다. Semicorex는 안정적인 품질, 빠른 납품 및 경쟁력 있는 비용으로 신뢰할 수 있는 핫존 구성 요소를 제공합니다.*

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웨이퍼 진공 척

Semicorex 웨이퍼 진공 척은 고급 반도체 리소그래피 공정에서 안정적인 웨이퍼 고정 및 나노미터 수준 위치 지정을 위해 설계된 초정밀 SiC 진공 척입니다. Semicorex는 더 빠른 배송, 경쟁력 있는 가격 및 즉각적인 기술 지원을 통해 수입 진공 척에 대한 고성능 국내 대안을 제공합니다.*

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Semicorex 15" Quartz Bell Jar는 초고순도 용융 실리카로 세심하게 제작된 고정밀 반응 챔버 구성 요소입니다. 가장 까다로운 반도체 환경을 위해 설계된 이 제품은 CVD(화학적 기상 증착), PVD(물리적 기상 증착) 및 에피택셜 성장 공정에 대한 중요한 투명 장벽 역할을 합니다. Semicorex는 전 세계 고객에게 고품질과 비용 효율적인 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.*

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SiC 세라믹 진공 척

Semicorex SiC 세라믹 진공 척은 고순도 SSiC(Sintered Dense Silicon Carbide)로 제조되며, 고정밀 웨이퍼 핸들링 및 박형화를 위한 최종 솔루션으로, 비교할 수 없는 강성, 열 안정성 및 서브미크론 평탄도를 제공합니다. Semicorex는 전 세계 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.*

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LPCVD용 퍼니스 튜브

흑연 절연 쉴드

웨이퍼 진공 척

15" 석영 벨자

SiC 세라믹 진공 척