제품

석영 확산 튜브

Semicorex Quartz Diffusion Tube는 반도체 웨이퍼 제조 산업, 특히 열 산화 및 어닐링의 중요한 공정에서 없어서는 안될 제품입니다.**

석영 캐리어 또는 석영 웨이퍼 보트라고도 하는 Semicorex 석영 확산 보트는 화학 기상 증착(CVD), 열 산화 및 어닐링과 같은 중요한 공정 중에 반도체 웨이퍼를 고정하도록 특별히 설계되었습니다.**

Semicorex의 Fused Quartz Ring은 탁월한 순도, 열 안정성 및 내화학성을 갖춘 반도체 식각 공정을 위해 특별히 설계된 중요한 구성 요소입니다. **

Semicorex Al2O3 진공척은 박형화, 다이싱, 세정, 웨이퍼 이송 등 다양한 반도체 생산 공정의 엄격한 요구사항을 충족하도록 설계되었습니다. **

Semicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuck은 반도체 제조의 웨이퍼 박형화 및 연삭 공정에 적용되며, 고정밀 및 신뢰성 있는 반도체 생산을 달성하는 데 없어서는 안 될 도구입니다.**

Semicorex SiC 코팅 히터의 CVD SiC 코팅은 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 및 에피택시 성장과 같은 공정에서 자주 발생하는 가혹하고 부식성이며 반응성인 환경으로부터 발열체를 보호하는 데 탁월한 성능을 제공합니다.**

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