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MOCVD용 SiC 흑연 RTP 캐리어 플레이트

MOCVD용 Semicorex SiC 흑연 RTP 캐리어 플레이트는 뛰어난 내열성과 열 균일성을 제공하여 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고품질 SiC 코팅 흑연을 사용하는 이 제품은 에피택셜 성장을 위한 가장 가혹한 증착 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.

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에피택셜 성장을 위한 SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트

에피택셜 성장을 위한 Semicorex SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트는 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션입니다. 흑연, 세라믹 등의 표면에 MOCVD 가공된 고품질 탄소 흑연 서셉터와 석영 도가니를 갖춘 이 제품은 웨이퍼 핸들링 및 에피택셜 성장 처리에 이상적입니다. SiC 코팅 캐리어는 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 보장하므로 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 신뢰할 수 있는 선택입니다.

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RTP RTA SiC 코팅 캐리어

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 중국에서 높은 내열성과 내식성을 갖춘 에피택시 장비용으로 특별히 설계된 Semicorex 흑연 서셉터입니다. 당사의 RTP RTA SiC 코팅 캐리어는 가격 이점이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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MOCVD 에피택셜 성장을 위한 RTP 캐리어

MOCVD 에피택셜 성장을 위한 Semicorex RTP 캐리어는 에피택셜 성장 및 웨이퍼 핸들링 처리를 포함한 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 이상적입니다. 탄소 흑연 서셉터 및 석영 도가니는 흑연, 세라믹 등의 표면에서 MOCVD로 가공됩니다. 당사의 제품은 가격 우위가 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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SiC 코팅 ICP 구성 요소

Semicorex의 SiC 코팅 ICP 부품은 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 미세한 SiC 크리스탈 코팅을 갖춘 당사의 캐리어는 뛰어난 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

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플라즈마 에칭 챔버용 고온 SiC 코팅

에피택시 및 MOCVD와 같은 웨이퍼 핸들링 공정에서는 Semicorex의 플라즈마 식각 챔버용 고온 SiC 코팅이 최고의 선택입니다. 당사의 캐리어는 미세한 SiC 크리스탈 코팅 덕분에 뛰어난 내열성, 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

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