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TaC 플레이트

Semicorex TaC 플레이트는 SiC 에피택시 성장 공정에 사용하도록 설계된 고성능 TaC 코팅 흑연 구성 요소입니다. 반도체 생산 장비의 성능과 수명을 최적화하는 신뢰할 수 있는 고품질 재료 제조 전문 지식을 갖춘 Semicorex를 선택하십시오.*

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Semicorex TaC 코팅 흑연 부품은 SiC 결정 성장 및 에피택시 공정에 사용하도록 설계된 고성능 부품으로, 열 안정성과 내화학성을 향상시키는 내구성 있는 탄탈륨 코팅이 특징입니다. 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있는 안정적이고 오래 지속되는 구성 요소를 제공하는 혁신적인 솔루션, 우수한 제품 품질 및 전문 지식을 원하시면 Semicorex를 선택하십시오.*

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TaC 코팅 흑연 척

Semicorex TaC 코팅 흑연 척은 반도체 제조 시 정밀한 웨이퍼 핸들링 및 고온 공정을 위해 설계된 고성능 부품입니다. 까다로운 반도체 응용 분야에서 최적의 성능과 수명을 보장하는 혁신적이고 내구성이 뛰어난 제품을 원하시면 Semicorex를 선택하십시오.*

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TaC 링

Semicorex TaC 링은 SiC 단결정 성장용으로 설계된 고성능 부품으로, 최적의 가스 흐름 분포와 온도 제어를 보장합니다. 첨단 재료 및 정밀 엔지니어링 분야의 전문 지식을 갖춘 Semicorex를 선택하여 반도체 공정의 효율성과 품질을 향상시키는 내구성 있고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하세요.*

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PBN 정전척

Semicorex의 PBN 정전 척은 독특한 재료 특성으로 인해 반도체 제조의 웨이퍼 처리 분야에서 두각을 나타냅니다.

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실리콘 질화물 롤러

Semicorex가 선보이는 Silicon Nitride Roller는 고성능 세라믹 소재인 가스 압력 소결 실리콘 질화물(Si3N4)로 제작됩니다.

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