반도체 처리용 Semicorex 내구성 포커스 링은 반도체 처리에 사용되는 플라즈마 식각 챔버의 극한 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 우리의 포커스 링은 조밀하고 내마모성이 뛰어난 탄화규소(SiC) 코팅으로 코팅된 고순도 흑연으로 만들어졌습니다. SiC 코팅은 높은 내식성, 내열성 및 우수한 열전도성을 갖고 있습니다. 우리는 포커스 링의 수명을 향상시키기 위해 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연 위에 SiC를 얇은 층으로 도포합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex 플라즈마 처리 포커스 링은 반도체 산업의 플라즈마 식각 처리에 대한 높은 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 당사의 고급 고순도 탄화규소 코팅 부품은 극한 환경을 견딜 수 있도록 제작되었으며 탄화규소 층 및 에피택시 반도체를 포함한 다양한 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 MOCVD Inlet Seal Ring은 가격 이점이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 MOCVD 인렛 링은 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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