Semicorex는 MOCVD용 탄화규소 코팅 흑연 서셉터의 신뢰할 수 있는 공급업체이자 제조업체입니다. 당사의 제품은 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. MOCVD에서 센터 플레이트로 사용되는 제품으로 기어 또는 링 형태의 디자인을 갖고 있습니다. 내열성과 내식성이 뛰어나 극한 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
더 읽어보기문의 보내기ICP 플라즈마 에칭 시스템을 위한 Semicorex의 SiC 코팅 캐리어는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 당사의 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공하는 미세한 SiC 크리스탈 코팅을 특징으로 합니다.
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