SiC 코팅 웨이퍼 디스크

Semicorex SiC 코팅 웨이퍼 디스크의 기초는 화학 기상 증착(CVD) SiC로 전문적으로 코팅된 고품질 흑연으로 구성됩니다. 이 고급 구조는 열충격 및 화학적 분해에 대한 탁월한 저항성을 제공하여 SiC 코팅 웨이퍼 디스크의 수명을 크게 연장하고 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 안정적인 성능을 보장합니다.

특히, SiC 코팅 웨이퍼 디스크는 반도체 제조 중 효과적인 열 방출에 중요한 열 전도성이 뛰어납니다. 이 기능은 웨이퍼 표면 전체의 열 구배를 최소화하여 원하는 반도체 특성을 달성하는 데 필수적인 균일한 온도 분포를 촉진합니다.

SiC 코팅은 화학적 부식과 열충격에 대한 강력한 보호 기능을 제공하여 열악한 공정 환경에서도 SiC 코팅 웨이퍼 디스크의 무결성을 유지합니다. 내구성이 향상되어 작동 수명이 길어지고 가동 중단 시간이 줄어들어 반도체 제조 시설의 생산성과 비용 효율성이 향상됩니다.

또한 SiC 코팅 웨이퍼 디스크는 특정 요구 사항과 선호 사항을 충족하도록 맞춤화될 수 있습니다. 우리는 크기 조정부터 코팅 두께 변화까지 다양한 맞춤형 옵션을 제공하여 다양한 응용 분야와 공정 매개변수 전반에 걸쳐 성능을 최적화하는 설계 유연성을 제공합니다.