MOCVD용 SiC 코팅 흑연 기판 웨이퍼 캐리어

당사 공장에서 MOCVD용 SiC 코팅 흑연 기판 웨이퍼 캐리어를 구입하시면 안심하실 수 있습니다. Semicorex는 중국의 SiC 코팅 흑연 서셉터를 대규모로 제조 및 공급하는 업체입니다. 우리 제품은 좋은 가격 우위를 가지고 있으며 유럽과 미국 시장의 많은 부분을 포괄합니다. 우리는 고객의 특정 요구 사항을 충족하는 고품질 제품을 제공하기 위해 노력합니다. MOCVD용 SiC 코팅 흑연 기판 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조 공정을 위한 고성능 캐리어를 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다.

문의 보내기

제품 설명

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 기판 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 합니다. 당사의 제품은 극한 환경에서도 매우 안정적이므로 고품질 웨이퍼 생산을 위한 탁월한 선택입니다.
MOCVD용 SiC 코팅 흑연 기판 웨이퍼 캐리어의 기능은 뛰어납니다. 치밀한 표면과 미세한 입자로 인해 내식성이 향상되어 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약에 대한 저항성이 향상됩니다. 캐리어는 균일한 열 프로파일을 보장하고 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 보장하여 오염이나 불순물이 웨이퍼로 확산되는 것을 방지합니다.

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 기판 웨이퍼 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특징

- 벗겨짐을 방지하고 모든 표면에 코팅을 보장합니다.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세한 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
- 최상의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지