SiC 디스크 수신기

품질과 혁신에 대한 깊은 헌신으로 Semicorex의 초순수 SiC 디스크 서셉터는 에피택시, MOCVD 및 RTP 장비 성능에 대한 새로운 표준을 설정합니다. 탁월한 열충격 저항성, 탁월한 열 전도성, 탁월한 내화학성 및 초고순도를 결합한 이러한 엔지니어링 부품은 반도체 제조업체가 비교할 수 없는 효율성, 신뢰성 및 제품 품질을 달성할 수 있도록 지원합니다. Semicorex의 맞춤형 솔루션은 각 열 처리 응용 분야의 고유한 요구 사항을 충족하도록 설계된 최적화되고 정밀하게 설계된 구성 요소의 이점을 보장합니다.

뛰어난 열 충격 저항:SiC 디스크 서셉터는 RTP 및 기타 고온 공정에서 흔히 발생하는 급격한 온도 변동을 견디는 데 탁월합니다. 이러한 탁월한 열충격 저항성은 구조적 무결성과 수명을 보장하여 급격한 온도 변화로 인한 손상이나 고장 위험을 최소화하고 열처리 장비의 신뢰성을 향상시킵니다.

우수한 열전도율:효율적인 열 전달은 열처리 응용 분야에서 매우 중요합니다. SiC 디스크 서셉터의 탁월한 열 전도성은 정밀한 온도 제어 및 공정 균일성에 필수적인 빠르고 균일한 가열 및 냉각을 보장합니다. 이를 통해 공정 효율성이 향상되고, 사이클 시간이 단축되며, 반도체 웨이퍼 품질이 향상됩니다.

탁월한 내화학성:SiC 디스크 서셉터는 에피택시, MOCVD 및 RTP 공정에 사용되는 광범위한 부식성 및 반응성 화학물질에 대한 뛰어난 내성을 제공합니다. 이러한 화학적 불활성은 기본 흑연의 분해를 방지하고 공정 환경의 오염을 방지하며 확장된 작동 기간 동안 일관된 성능을 보장합니다.

초고순도: SiC 디스크 서셉터는 흑연 및 SiC 코팅 모두에 대해 초고순도 표준에 따라 제조되어 오염 가능성을 방지하고 결함 없는 반도체 장치의 생산을 보장합니다. 순도에 대한 이러한 약속은 더 높은 수율과 향상된 장치 성능을 의미합니다.

복잡한 모양 가용성:Semicorex의 고급 제조 역량을 통해 특정 고객 요구 사항에 맞는 복잡한 형태의 SiC 디스크 서셉터를 생산할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 다양한 열 처리 응용 분야의 정확한 요구 사항을 충족하는 맞춤형 솔루션을 설계할 수 있어 공정 효율성과 장비 호환성이 향상됩니다.

산화 분위기에서 사용 가능:견고한 CVD SiC 코팅은 산화에 대한 탁월한 보호 기능을 제공하므로 SiC 디스크 서셉터는 산화 환경에서 안정적으로 작동할 수 있습니다. 이는 더 넓은 범위의 열 공정으로 적용 가능성을 확장하여 다양성과 적응성을 보장합니다.

견고하고 반복 가능한 성능:고온 및 진공 환경을 위해 설계된 SiC 디스크 서셉터는 견고하고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 내구성과 일관성으로 인해 중요한 열 처리 응용 분야에 이상적이며 가동 중지 시간과 유지 관리 비용이 줄어들고 장기적인 운영 신뢰성이 보장됩니다.

Semicorex는 다음을 포함하여 열 처리 장비의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 CVD SiC 코팅 부품을 맞춤화하는 전문 업체입니다.

디퓨저:가스 분배 균일성과 공정 일관성을 향상시킵니다.

절연체:고온 환경에서 단열 및 보호 기능을 제공합니다.

기타 맞춤형 열 구성요소:특정 프로세스 요구 사항을 충족하고 장비 성능을 최적화하도록 설계된 맞춤형 솔루션입니다.