실리콘 카바이드 흑연 기판 MOCVD 서셉터

Semicorex 실리콘 카바이드 흑연 기판 MOCVD 서셉터는 뛰어난 성능과 내구성을 제공할 수 있는 고품질 캐리어를 찾는 반도체 제조업체를 위한 최고의 선택입니다. 고급 소재는 균일한 열 프로파일과 층류 가스 흐름 패턴을 보장하여 고품질 웨이퍼를 제공합니다.

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제품 설명

당사의 탄화 규소 흑연 기판 MOCVD 서셉터는 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 제조되어 제품의 균일성과 일관성을 보장하는 고순도입니다. 또한 표면이 치밀하고 입자가 미세하여 내식성이 뛰어나 산, 알칼리, 염분, 유기 시약에 대한 저항력이 뛰어납니다. 고온 내산화성은 최대 1600°C의 고온에서도 안정성을 보장합니다.
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실리콘 카바이드 흑연 기판 MOCVD 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특징

- 벗겨짐을 방지하고 모든 표면에 코팅을 보장합니다.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세한 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
- 최상의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지