실리콘 카바이드 세라믹(SiC)은 실리콘과 탄소를 함유한 고급 세라믹 소재입니다. 탄화규소 입자는 소결을 통해 서로 결합되어 매우 단단한 세라믹을 형성할 수 있습니다. Semicorex는 귀하의 요구에 따라 맞춤형 탄화규소 세라믹을 공급합니다.
응용
탄화규소 세라믹을 사용하면 재료 특성이 1,400°C 이상의 온도까지 일정하게 유지됩니다. 400GPa 이상의 높은 영률은 탁월한 치수 안정성을 보장합니다.
실리콘 카바이드 부품의 일반적인 응용 분야는 마찰 베어링과 기계적 씰을 사용하는 동적 씰링 기술(예: 펌프 및 구동 시스템)입니다.
고급 특성을 갖춘 탄화규소 세라믹은 반도체 산업에 사용하기에 이상적입니다.
웨이퍼 보트 →
Semicorex 웨이퍼 보트는 소결 실리콘 카바이드 세라믹으로 제작되어 내부식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 저항성이 뛰어납니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.
반응 소결 탄화규소
다른 소결 공정에 비해 치밀화 공정 중 반응소결의 크기 변화가 적고, 정확한 치수의 제품을 생산할 수 있습니다. 그러나, 소결체 내에 다량의 SiC가 존재하면 반응 소결된 SiC 세라믹스의 고온 성능이 악화됩니다.
무압력 소결 탄화규소
무압력 소결 탄화규소(SSiC)는 특히 가볍고 동시에 단단한 고성능 세라믹입니다. SSiC는 극한의 온도에서도 거의 일정하게 유지되는 높은 강도를 특징으로 합니다.
재결정 탄화규소
재결정탄화규소(RSiC)는 고순도 탄화규소 조분말과 고활성 탄화규소 미분말을 혼합하고 그라우팅 후 2450℃에서 진공 소결하여 재결정화시킨 차세대 소재이다.
Semicorex SiC(탄화 규소) 공정 튜브 라이너는 고온 및 높은 순도가 요구되는 환경에서 반도체 생산에 중요한 구성 요소입니다. 이러한 SiC 공정 튜브 라이너는 극심한 열 조건을 견디고 높은 수준의 순도를 유지하여 반도체 제조 공정이 손상되지 않도록 특별히 설계되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex SiC(실리콘 카바이드) 캔틸레버 패들은 반도체 제조 공정, 특히 확산 및 RTP(급속 열 처리)와 같은 공정 중 확산 또는 LPCVD(저압 화학 기상 증착)로에서 사용되는 중요한 구성 요소입니다. SiC 캔틸레버 패들은 확산 및 RTP와 같은 다양한 고온 공정 중에 프로세스 튜브 내에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 운반하는 데 사용됩니다. 이는 이러한 용광로의 프로세스 튜브 내에서 웨이퍼를 지지하고 운반하는 목적을 제공합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex SiC 웨이퍼 이송 핸드는 반도체 제조 공정 내 자동화의 초석으로, 반도체 웨이퍼를 정확하고 효율적으로 처리하기 위한 정교한 로봇 도구 역할을 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex 탄화 규소 공정 튜브는 반도체 제조 영역에서 중요한 구성 요소로, RTP, 확산과 같은 다양한 반도체 공정 응용 분야에 사용되는 수직형 용광로에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기