실리콘 카바이드 세라믹패들은 일반적으로 용광로 입구 또는 공정 챔버 근처에 설치되며, 한쪽 끝은 고정되고 다른 쪽 끝은 용광로 또는 공정 챔버로 확장됩니다. 작동 공정 중에 탄화규소 세라믹 패들은 웨이퍼를 운반하는 웨이퍼 캐리어를 용광로 또는 공정 챔버 내부의 지정된 위치에 정확하게 위치시킵니다. 처리 후 캔틸레버식 패들은 캐리어를 회수하여 이를 용광로나 챔버 밖으로 옮기고 다음 처리 단계를 위해 로봇 팔에 넘겨줍니다.

Semicorex 탄화규소 세라믹 패들의 장점

1. 우수한 특성과 신뢰할 수 있는 품질

Semicorex 탄화규소 세라믹 패들은 뛰어난 고온 안정성, 고강도, 고경도, 화학적 안정성 및 낮은 열팽창 계수를 제공합니다. 이러한 우수한 특성을 갖춘 Semicorex 탄화규소 세라믹 패들은 고온, 심각한 부식, 무거운 하중 및 빈번한 기계 작동과 같은 까다로운 작동 조건을 오랫동안 견딜 수 있습니다.

2. 정확한 지지 및 운반

뛰어난 지지력과 운반력을 바탕으로 세미코렉스탄화 규소 세라믹 패들웨이퍼 캐리어를 제자리에 정확하게 고정하여 퍼니스 튜브에 대한 웨이퍼의 동심도를 보장함으로써 공정 중 웨이퍼 흔들림과 정렬 불량으로 인한 공정 불일치를 크게 줄일 수 있습니다.

3. 고효율 자동화 운영

Semicorex 탄화규소 세라믹 패들은 일반적으로 로봇 자동 로딩 및 처리 시스템과 함께 작동하여 신속한 웨이퍼 로딩 및 언로딩을 달성합니다. 이를 통해 반도체 및 광전지 제조의 공정 주기가 크게 단축되고, 생산 효율성이 향상되며, 수동 작업 비용과 오류 위험이 줄어듭니다.

Semicorex 탄화규소 세라믹 패들의 응용

1. 태양전지 제조

Semicorex 탄화규소 세라믹 패들은 TOPCon 및 PERC 전지의 확산, LPCVD, PECVD와 같은 광전지의 열 공정에 매우 적합합니다. 이러한 패들은 공정의 균일성과 안정성을 달성함으로써 태양전지 변환효율 향상에 기여합니다.

2. 반도체 칩 제조

세미코렉스 탄화규소 세라믹 패들은 필수적인 지지 및 이송 부품으로 반도체 칩 제조 중 리소그래피, 에칭, 증착 등의 공정에 폭넓게 적용되어 지속적으로 안정적인 웨이퍼 이송과 정밀한 포지셔닝을 가능하게 합니다.