실리콘 카바이드 세라믹(SiC)은 실리콘과 탄소를 함유한 고급 세라믹 소재입니다. 탄화규소 입자는 소결을 통해 서로 결합되어 매우 단단한 세라믹을 형성할 수 있습니다. Semicorex는 귀하의 요구에 따라 맞춤형 탄화규소 세라믹을 공급합니다.
응용
탄화규소 세라믹을 사용하면 재료 특성이 1,400°C 이상의 온도까지 일정하게 유지됩니다. 400GPa 이상의 높은 영률은 탁월한 치수 안정성을 보장합니다.
실리콘 카바이드 부품의 일반적인 응용 분야는 마찰 베어링과 기계적 씰을 사용하는 동적 씰링 기술(예: 펌프 및 구동 시스템)입니다.
고급 특성을 갖춘 탄화규소 세라믹은 반도체 산업에 사용하기에 이상적입니다.
웨이퍼 보트 →
Semicorex 웨이퍼 보트는 소결 실리콘 카바이드 세라믹으로 제작되어 내부식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 저항성이 뛰어납니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.
반응 소결 탄화규소
다른 소결 공정에 비해 치밀화 공정 중 반응소결의 크기 변화가 적고, 정확한 치수의 제품을 생산할 수 있습니다. 그러나, 소결체 내에 다량의 SiC가 존재하면 반응 소결된 SiC 세라믹스의 고온 성능이 악화됩니다.
무압력 소결 탄화규소
무압력 소결 탄화규소(SSiC)는 특히 가볍고 동시에 단단한 고성능 세라믹입니다. SSiC는 극한의 온도에서도 거의 일정하게 유지되는 높은 강도를 특징으로 합니다.
재결정 탄화규소
재결정탄화규소(RSiC)는 고순도 탄화규소 조분말과 고활성 탄화규소 미분말을 혼합하고 그라우팅 후 2450℃에서 진공 소결하여 재결정화시킨 차세대 소재이다.
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