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실리콘 카바이드 트레이
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실리콘 카바이드 트레이

Semicorex 실리콘 카바이드 트레이는 놀라운 성능을 보장하면서 극한의 조건을 견딜 수 있도록 제작되었습니다. ICP 식각 공정, 반도체 확산, MOCVD 에피택셜 공정에서 중요한 역할을 합니다.

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제품 설명

실리콘 카바이드 트레이의 재료 특성

실리콘 카바이드 트레이는 뛰어난 재료 특성으로 유명하므로 고성능 부품을 요구하는 산업에 이상적인 선택입니다. 아래에서는 트레이의 우수성을 강조하는 구체적인 특성을 자세히 살펴보겠습니다.


1. 높은 내열성

실리콘 카바이드 트레이의 뛰어난 특징 중 하나는 고온을 견딜 수 있다는 것입니다. 이로 인해 반도체 웨이퍼의 MOCVD 에피택셜 공정과 같이 극심한 열이 발생하는 공정에서 필수적인 구성 요소가 됩니다. 트레이의 열 안정성은 구조적 무결성을 유지하여 고온 작동을 위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다.


고온에 대한 이러한 내성은 일관된 성능을 보장하여 열 변형 위험을 최소화하고 트레이의 작동 수명을 연장합니다.


2. 균일한 열분포

실리콘 카바이드 트레이는 반도체 제조에서 정밀도를 달성하는 데 중요한 요구 사항인 균일한 열 분포를 제공하는 데 탁월합니다. 이 특성은 균일한 가열이 일관된 층 두께와 저항을 유지하는 데 중요한 GaN 및 SiO2와 같은 에피택셜 층 박막 재료의 에칭 공정에서 특히 유용합니다.


균일한 열 분포를 보장함으로써 트레이는 고품질의 에피층 생산에 기여하여 제조 공정의 전반적인 효율성과 신뢰성을 향상시킵니다.


3. 우수한 화학적 내식성

탄화규소 트레이의 또 다른 주요 특징은 뛰어난 화학적 내식성입니다. 이 특성은 ICP 에칭 공정 중에 발생하는 것과 같은 공격적인 화학적 환경과 관련된 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 트레이의 화학적 안정성은 부식성 물질의 영향을 받지 않고 내구성과 수명을 보장합니다.


이러한 부식 방지 기능은 트레이의 수명을 연장할 뿐만 아니라 시간이 지나도 성능 특성을 유지하여 빈번한 교체 필요성을 줄여줍니다.


4. 높은 정밀도와 균일성

탄화규소 트레이는 높은 정밀도와 우수한 균일성을 위해 설계되어 반도체 확산 및 웨이퍼 에피택셜 층 에칭과 같이 세심한 정확성을 요구하는 응용 분야에 적합합니다. 정밀한 디자인으로 인해 트레이는 재료 처리를 위한 안정적이고 균일한 표면을 제공하여 최종 제품의 일관성과 품질에 기여합니다.


이러한 수준의 정밀도는 트레이의 신뢰성을 향상시켜 정확성이 가장 중요한 고부담 제조 공정에서 신뢰할 수 있는 구성 요소가 됩니다.


실리콘 카바이드 트레이의 응용

Semicorex의 탄화규소 트레이는 다양한 산업 전반에 걸쳐 광범위한 응용 분야에 서비스를 제공하도록 설계되었습니다. 아래에서는 이 제품이 뛰어난 몇 가지 주요 영역을 살펴보겠습니다.


1. ICP 에칭 공정

에피택셜 층 박막 재료의 ICP 에칭 공정에서 탄화규소 트레이는 균일한 에칭과 일관된 층 두께를 달성하는 데 중요한 역할을 합니다. 높은 내열성과 균일한 열 분포로 인해 GaN 및 SiO2와 같은 재료를 처리하는 데 이상적이며 정밀도와 신뢰성을 보장합니다.


에칭 공정의 가혹한 조건을 견딜 수 있는 트레이의 능력은 LED 웨이퍼 칩 생산에서 귀중한 자산이 되어 제조 공정의 효율성과 품질에 기여합니다.


2. 반도체 확산

Silicon Carbide Tray는 높은 정밀도와 균일성이 요구되는 반도체 제조의 확산 공정에도 활용됩니다. 구조적 완전성과 내화학성은 확산을 위한 안정적인 플랫폼을 제공하여 반도체 부품의 일관성과 품질을 향상시킵니다.


정밀한 확산 공정을 지원함으로써 고성능 반도체 부품 생산에 도움을 주는 트레이는 제조 작업을 최적화하려는 전문가에게 없어서는 안 될 요소입니다.


3. MOCVD 에피택셜 공정

반도체 웨이퍼의 MOCVD 에피 공정에서 Silicon Carbide Tray는 균일한 열 분포와 우수한 내화학성을 보장하여 고품질 에피층 성장을 촉진합니다. 일정한 온도를 유지하고 화학적 노출에 저항하는 능력은 정밀한 에피택셜 층 성장을 달성하는 데 필수적인 구성 요소입니다.


MOCVD 공정에서 트레이의 신뢰성과 성능은 일관된 특성을 지닌 고품질 반도체 웨이퍼 생산을 목표로 하는 제조업체가 선호하는 선택입니다.


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