고체 실리콘 카바이드 포커싱 링

Semicorex 솔리드 실리콘 카바이드 포커싱 링은 반도체 제조의 중추적인 구성 요소로, 직접적인 접촉을 유지하기 위해 전략적으로 웨이퍼 외부에 배치됩니다. 인가된 전압을 활용함으로써 이 링은 이를 통과하는 플라즈마에 집중하여 웨이퍼의 프로세스 균일성을 향상시킵니다. CVD SiC(화학적 기상 증착 실리콘 카바이드)로만 제작된 이 포커스 링은 반도체 산업에서 요구하는 탁월한 품질을 구현합니다. Semicorex는 품질과 비용 효율성을 융합한 고성능 솔리드 실리콘 카바이드 포커싱 링을 제조 및 공급하는 데 전념하고 있습니다.

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제품 설명

반도체 제조에서 Semicorex 고체 실리콘 카바이드 포커싱 링은 에칭 공정 중에 웨이퍼의 무결성을 유지하는 차폐 역할을 하여 중요한 역할을 합니다. 세심하게 설계된 설계는 정확하고 균일한 에칭을 보장하여 뛰어난 성능과 신뢰성을 나타내는 매우 복잡한 반도체 소자의 생산을 촉진합니다.

탄화규소는 진공 반응 챔버 내에서 플라즈마에 노출될 때 플라즈마 부식에 대한 저항력이 뛰어나 포커싱 링에 선택되는 재료입니다. 솔리드 실리콘 카바이드 포커싱 링은 다음을 포함한 여러 측면에서 기존 실리콘보다 성능이 뛰어납니다.

(1) 에칭 속도를 최소화하는 고밀도.

(2) 밴드갭이 우수하고 절연성이 우수하다.

(3) 열전도율이 뛰어나고 열팽창계수가 낮으며 열충격에 강합니다.

(4) 높은 탄성과 기계적 충격에 대한 저항력이 뛰어납니다.

(5) 경도, 내마모성, 내식성이 우수하다.

실리콘 카바이드의 전도성과 이온 에칭에 대한 저항성은 실리콘과 유사하므로 고체 실리콘 카바이드 포커싱 링은 이 응용 분야에 이상적인 재료입니다.

Semicorex 솔리드 실리콘 카바이드 포커싱 링은 반도체 제조 분야의 최첨단 솔루션입니다. CVD SiC의 고유한 특성을 활용하여 안정적인 고성능 에칭 공정을 촉진하고 반도체 기술 발전에 크게 기여합니다.