에피택셜 성장의 예비 부품

에피택셜 성장의 Semicorex 예비 부품은 특히 석영 튜브 설정과 관련된 프로세스의 경우 절대적으로 중요합니다. 이러한 부품은 트레이 베이스 회전을 구동하고 에피택셜 성장 프로세스 전반에 걸쳐 정밀한 온도 제어를 보장하기 위해 가스 흐름을 촉진하는 데 필수적입니다. 구어체로 절반 부품으로 알려진 에피택셜 성장의 Semicorex 예비 부품은 에피택셜 성장 챔버에 내재된 고온 및 부식 환경을 견딜 수 있도록 세심하게 설계되었습니다. SiC(실리콘 카바이드)로 제작된 이 제품은 탁월한 열적, 화학적 안정성을 제공하므로 까다로운 응용 분야에 이상적인 선택입니다. SiC를 사용하면 이러한 부품이 가장 까다로운 조건에서도 견딜 수 있음을 보장합니다.

에피택셜 성장의 예비 부품은 초승달 모양과 유사하며 석영 튜브 어셈블리 내에 꼭 맞도록 설계되었습니다. 독특한 반달형 구성을 통해 시스템에 쉽게 삽입하고 제거할 수 있어 유지 관리 및 교체 절차가 효율적이고 정밀하게 진행됩니다.

에피택셜 성장의 예비 부품은 다양한 용도로 사용됩니다. 첫째, 에피택셜 성장 공정에 필수적인 가스 전달을 제어하는 ​​데 도움이 됩니다. 가스 유속과 분포를 조절함으로써 원하는 재료 특성과 장치 성능을 달성하는 데 중요한 반도체 재료를 기판 표면에 균일하게 증착할 수 있습니다.

에피택셜 성장의 예비 부품은 성장 챔버 내 트레이 베이스의 회전 운동에 기여합니다. 이러한 회전은 증착된 재료의 균일한 분포를 촉진하고 에피택셜 층에 불규칙성이나 결함이 형성되는 것을 방지하는 데 중추적인 역할을 합니다.