수신기 디스크

Semicorex 서셉터 디스크는 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착)에 없어서는 안 될 도구로, 에피택셜 층 증착의 중요한 공정 중에 반도체 웨이퍼를 지지하고 가열하기 위해 특별히 설계되었습니다. 서셉터 디스크는 정확한 층 성장이 가장 중요한 반도체 장치 제조에 중요한 역할을 합니다. 경쟁력 있는 재정 고려 사항과 결합된 시장 선도적인 품질에 대한 Semicorex의 약속은 귀하의 반도체 웨이퍼 운송 요건을 충족하기 위한 파트너십 구축에 대한 우리의 열의를 확고히 합니다.

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제품 설명

고순도 흑연으로 제작되고 MOCVD 기술을 사용하여 탄화규소(SiC) 층으로 코팅된 Semicorex 서셉터 디스크는 탁월한 열적 특성과 놀라운 화학적 안정성을 결합합니다. 탄화규소 코팅은 고온 및 부식성 조건에 대한 탁월한 저항성을 보장하며, 이는 까다로운 환경에서 서셉터 디스크의 무결성을 유지하는 데 중요합니다.

또한 서셉터 디스크의 SiC 코팅은 열 전도성을 향상시켜 일관된 에피택셜 성장에 중요한 빠르고 균일한 열 분배를 가능하게 합니다. 열을 효율적으로 흡수하고 방출하여 박막 증착에 필수적인 안정적이고 균일한 온도를 제공합니다. 이러한 균일성은 고급 반도체 장치의 기능과 성능에 기본이 되는 고품질 에피택셜 층을 달성하는 데 필수적입니다.

서셉터 디스크의 설계는 열팽창 문제도 해결합니다. 열팽창 계수가 최소화되어 에피택셜 층과의 강력한 결합을 보장하여 열 순환으로 인한 균열 위험을 줄입니다. 서셉터 디스크의 높은 융점 및 뛰어난 산화 저항성과 결합된 이 기능을 통해 극한 조건에서도 안정적인 작동이 가능합니다.

이러한 고급 특성을 갖춘 서셉터 디스크는 최신 MOCVD 응용 분야의 엄격한 요구 사항을 충족할 뿐만 아니라 이를 초과하여 에피택셜 성장 프로세스의 전반적인 효율성과 출력을 향상시키는 신뢰할 수 있는 고성능 솔루션을 제공합니다.