그리드가 있는 서셉터

Semicorex Susceptor with Grid는 반도체 웨이퍼의 에피택셜 성장 공정에 사용되는 특수 부품입니다. 이 중요한 장비는 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 시스템에서 재료를 증착하는 동안 웨이퍼를 운반하고 지지하도록 설계되었습니다. 그리드가 있는 서셉터는 반도체 웨이퍼에서 에피택셜 층의 균일하고 제어된 성장을 보장하는 데 중추적인 역할을 합니다.

그리드가 있는 서셉터는 기능에 최적화된 재료로 구성됩니다. 이 경우 MOCVD SiC(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) 코팅 흑연으로 만들어진다. 이러한 재료 선택은 고온 저항, 화학적 안정성, 우수한 열 전도성을 비롯한 여러 가지 이점을 제공합니다. 흑연의 SiC 코팅은 서셉터의 내구성과 에피택셜 성장 과정에서 발생하는 가혹한 조건에 대한 저항성을 향상시킵니다.

그리드 구조의 서셉터는 반도체 웨이퍼를 지지하는 메커니즘 역할을 합니다. 이는 효율적인 가스 흐름과 재료의 균일한 증착을 허용하면서 웨이퍼를 제자리에 안전하게 고정하도록 전략적으로 설계되었습니다. 그리드 패턴은 웨이퍼 표면 전체에 열과 반응물을 고르게 분산시켜 에피택셜 층 두께와 구성을 정밀하게 제어하는 ​​데 도움이 됩니다.

그리드가 포함된 Semicorex 서셉터는 고급 반도체 장치의 제조 공정에서 중요한 구성 요소입니다. 견고한 구조와 특수 설계로 인해 고품질 에피택셜 성장을 달성하는 데 필수적인 도구가 되어 탁월한 성능과 신뢰성으로 반도체 생산을 보장합니다.