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MOCVD 반응기용 서셉터

MOCVD 반응기용 서셉터

Semicorex의 MOCVD 반응기용 서셉터는 실리콘 카바이드 층 및 에피택시 반도체와 같은 다양한 애플리케이션을 위해 반도체 산업에서 사용되는 고품질 제품입니다. 당사 제품은 기어 또는 링 형태로 제공되며 고온 내산화성을 달성하도록 설계되어 최대 1600°C의 온도에서 안정적입니다.

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제품 설명

당사의 MOCVD 반응기용 서셉터는 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 제작되어 고순도를 보장합니다. 제품의 표면이 치밀하고 입자가 미세하고 경도가 높아 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 부식되지 않습니다.
당사의 MOCVD 반응기용 서셉터는 모든 표면의 코팅을 보장하고 벗겨짐을 방지하며 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되었습니다. 이 제품은 열 프로파일의 균일성을 보장하고 공정 중 오염이나 불순물 확산을 방지하여 고품질 결과를 보장합니다.
세미코렉스는 고객만족을 최우선으로 생각하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


MOCVD 반응기용 서셉터 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특징

- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.
- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지




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