TaC 코팅 도가니

최고 수준의 품질과 성능을 요구하는 반도체 장비 제조업체와 사용자를 위한 완벽한 솔루션인 CVD Tac 코팅 도가니를 소개합니다. 당사의 도가니는 최첨단 CVD Tac(탄탈륨 카바이드) 층으로 코팅되어 부식 및 마모에 대한 탁월한 저항성을 제공하므로 다양한 반도체 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다.

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제품 설명

고품질 재료로 제작되고 최첨단 CVD Tac 기술로 코팅된 당사의 도가니는 뛰어난 성능과 수명을 제공합니다. CVD Tac 코팅은 화학적 공격, 마모 및 열충격에 대한 저항력이 매우 높은 균일하고 조밀한 층을 제공합니다. 이를 통해 반복 사용 후에도 도가니의 모양과 치수가 유지되므로 자주 교체할 필요성이 줄어듭니다.

당사의 CVD Tac 코팅 도가니는 화학 기상 증착(CVD), 물리 기상 증착(PVD) 및 원자층 증착(ALD)을 포함한 광범위한 반도체 공정과도 호환성이 높습니다. 마이크로칩, 태양 전지 또는 기타 반도체 장치를 생산하는 경우 당사의 도가니는 최적의 결과를 달성하는 데 도움이 될 수 있습니다.

TaC 코팅의 매개변수

프로젝트	매개변수
밀도	14.3(gm/cm3)
방사율	0.3
CTE (×10^-6/케이)	6.3
경도(홍콩)	2000
저항(Ω-cm)	1×10^-5
열 안정성	<2500℃
흑연 치수 변경	-10~-20um (참고값)
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

위의 값은 일반적인 값입니다.