TaC 코팅 도가니

최고 수준의 품질과 성능을 요구하는 반도체 장비 제조업체 및 사용자를 위한 완벽한 솔루션인 CVD Tac 코팅 도가니를 소개합니다. 당사의 도가니는 첨단 CVD Tac(탄탈륨 카바이드) 층으로 코팅되어 부식 및 마모에 대한 저항성이 우수하여 다양한 반도체 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다.

문의 보내기

제품 설명

고품질 재료로 제작되고 최첨단 CVD Tac 기술로 코팅된 당사의 도가니는 뛰어난 성능과 수명을 제공합니다. CVD Tac 코팅은 화학적 공격, 마모 및 열충격에 매우 강한 매우 균일하고 조밀한 층을 제공합니다. 이를 통해 도가니는 반복 사용 후에도 모양과 치수를 유지하여 빈번한 교체의 필요성을 줄입니다.

당사의 CVD Tac 코팅 도가니는 또한 화학 기상 증착(CVD), 물리 기상 증착(PVD) 및 원자층 증착(ALD)을 포함한 광범위한 반도체 공정과 매우 호환됩니다. 마이크로칩, 태양 전지 또는 기타 반도체 장치를 생산하는 경우 당사의 도가니는 최적의 결과를 얻는 데 도움이 될 수 있습니다.

TaC 코팅의 매개변수

프로젝트	매개변수
밀도	14.3(gm/cm³)
방사율	0.3
CTE(×10^-6/케이)	6.3
경도(홍콩)	2000
저항(옴-cm)	1×10^-5
열 안정성	<2500 ~
흑연 치수 변경	-10~-20um (참고값)
코팅 두께	≤20um 일반 값(35um±10um)

위의 값은 일반적인 값입니다.