Semicorex의 최첨단 TaC 코팅 흑연 서셉터는 웨이퍼 에피택셜 공정을 새로운 차원의 효율성과 정밀도로 향상시키도록 설계된 혁신적인 구성 요소입니다. 비교할 수 없는 전문성과 최첨단 기술을 활용하여 제작된 Semicorex TaC 코팅 흑연 서셉터는 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
탁월한 열 안정성: 흑연 서셉터의 TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅은 탁월한 열 안정성을 보장하여 에피택셜 공정 중에 정밀한 온도 제어가 가능합니다. 이러한 안정성은 웨이퍼 성장의 균일성을 유지하고 전체 수율을 최적화하는 데 중요합니다.
균일한 열 분포: 서셉터의 고급 설계로 우수한 결과를 달성하여 웨이퍼 표면 전체에 균일한 열 분포를 촉진합니다. 이 기능은 온도 변화를 최소화하고 에피택셜 레이어의 품질을 향상시켜 우수한 반도체 장치를 만듭니다.
연장된 수명: 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하는 내구성 있고 오래 지속되는 솔루션의 이점을 누리십시오. TaC 코팅은 열 성능을 향상시킬 뿐만 아니라 서셉터의 수명에 기여하여 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
맞춤형 설계: 맞춤형 설계 옵션을 통해 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 서셉터를 맞춤화할 수 있습니다. 특정 크기, 모양 또는 코팅 두께가 필요한 경우 당사 팀은 귀하와 협력하여 귀하의 고유한 요구 사항에 완벽하게 맞는 솔루션을 만들 준비가 되어 있습니다.
반도체 제조의 신뢰성, 정밀도 및 혁신의 전형인 TaC 코팅 흑연 서셉터를 사용하여 자신 있게 웨이퍼 에피택셜 공정을 업그레이드하십시오. 생산 능력을 향상시키고 빠르게 발전하는 반도체 기술 세계에서 앞서 나가십시오.