탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링

가이드 링은 일반적으로 열장 시스템 내 흑연 도가니 위에 설치됩니다. 도가니, 히터, 단열 실린더 및 기타 반도체 구성 요소와 함께 작동하여 열 및 공정 가스의 분포를 안내하고 제어합니다.

에이장점T의안탈륨 카바이드 코팅

뛰어난 성능으로 유명한TaC 코팅3세대 반도체 단결정 성장 응용 분야에서 탄탈륨 카바이드 코팅은 다음과 같은 장점을 제공합니다.

1. 탁월한 열 안정성

탄탈륨 탄화물은 3880℃의 초고융점으로 내열성이 뛰어납니다. 뛰어난 열 안정성을 갖춘 Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 2500℃ 이하의 고온 환경에서도 안정적으로 사용할 수 있습니다. 또한, 이 두 소재의 조합은 온도 변화로 인한 코팅 균열 및 박리 위험을 최소화하여 반복적인 가열 및 냉각 과정에서 부품의 구조적 무결성을 크게 보장합니다.

2. 놀라운 내식성

탄탈륨 탄화물은 내식성과 내산화성이 뛰어나며 암모니아, 수소, 규소 등 대부분의 반응성 가스에 화학적으로 불활성입니다. 이러한 화학적 안정성으로 인해 Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 반응 가스가 매트릭스를 침식하고 구조적 무결성을 손상시키는 것을 효과적으로 방지하는 동시에 결정 구조에 들어가는 반응물 및 불순물로 인한 오염 위험도 방지합니다.

Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링의 성능

세미코렉스탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링고순도 흑연을 매트릭스로 사용하고 CVD 기술을 통해 표면에 TaC 코팅을 증착합니다. 이 두 가지 재료를 결합하면 Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링이 다음과 같은 이점을 제공할 수 있습니다.

1.가스 흐름 유도 및 유동장 최적화

결정 성장 중에 가이드 링을 사용하면 열장 내 흐름 분포를 최적화하고 반응성 가스를 제어 가능한 흐름 방향과 균일한 분포 방향으로 유도합니다. 특수한 구조 설계 덕분에 Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 가스가 균일하게 흐르고 분포하도록 유도할 수 있어 국지적 가스 농도가 과도하게 높거나 낮은 것을 효과적으로 방지할 수 있습니다.

2.온도 조절 및 열장 최적화

Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 우수한 열 전도성을 나타내어 온도 분포를 조절하고 결정 성장을 위한 안정적인 온도 필드를 제공하는 데 중요한 역할을 합니다. 예를 들어, Semicorex 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 실리콘 카바이드 결정의 PVT 성장에서 온도 구배를 유지하는 데 도움이 되어 재료가 적절한 조건에서 분해, 이동 및 결정화되도록 보장할 수 있습니다.