TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터

최신 반도체 제조 공정이 지속적으로 발전함에 따라 필름 균일성, 결정학적 품질 및 공정 안정성 측면에서 에피택셜 웨이퍼에 대한 요구 사항이 점점 더 엄격해지고 있습니다. 이러한 이유로 고성능 및 내구성이 뛰어난 제품을 사용합니다.TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터안정적인 증착과 고품질 에피택셜 성장을 보장하려면 생산 공정이 중요합니다.

Semicorex TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터의 장점

1. 우수한 소재 선택

(1) 매트릭스 재료

세미코렉스는 프리미엄 고순도를 사용했습니다.석묵우수한 열 전도성, 고온 저항은 물론 기계적 강도와 경도를 제공하는 웨이퍼 서셉터의 매트릭스입니다. 열팽창 계수는 TaC 코팅의 열팽창 계수와 매우 일치하여 효과적으로 견고한 접착을 보장하고 코팅이 벗겨지거나 부서지는 것을 방지합니다.

(2) 코팅재료

탄탈륨 카바이드는 매우 높은 융점(약 3880℃), 우수한 열 전도성, 우수한 화학적 안정성, 뛰어난 기계적 강도를 지닌 고성능 소재입니다. 구체적인 성능 매개변수는 다음과 같습니다.

2. 탁월한 코팅 성능

세미코렉스는 최첨단 CVD 기술을 적용하여 균일하고 견고하게 접착합니다.TaC 코팅흑연 매트릭스에 적용하여 고온 및 화학적 부식 작동 조건으로 인한 코팅 균열 또는 박리 위험을 효과적으로 줄입니다. 또한, Semicorex의 정밀 가공 기술은 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터의 표면 평탄도를 나노미터 수준으로 구현하고, 코팅 공차를 마이크로미터 수준으로 제어하여 웨이퍼 에피택셜 증착을 위한 최적의 플랫폼을 제공합니다.

3. 반도체급 세정수준

흑연 매트릭스는 MBE(분자선 에피택시), CVD(화학 기상 증착), MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착)와 같은 공정에 직접 사용할 수 없습니다. TaC 코팅을 적용하면 흑연 매트릭스와 화학물질 간의 반응으로 인한 웨이퍼 오염을 효과적으로 방지하여 최종 증착 성능에 미치는 영향을 방지할 수 있습니다. 반응 챔버 내에서 반도체 수준의 청결도를 보장하기 위해 반도체 웨이퍼와 직접 접촉해야 하는 각 Semicorex TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터는 진공 포장 전에 초음파 세척을 거칩니다.