TaC 코팅 흑연은 독점적인 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다.
탄탈륨 카바이드(TaC)는 탄탈륨과 탄소로 구성된 화합물입니다. 금속 전기 전도성과 매우 높은 융점을 갖고 있어 강도, 경도, 내열성 및 내마모성으로 유명한 내화 세라믹 재료입니다. 탄탈륨 탄화물의 녹는점은 순도에 따라 약 3880°C에서 최고조에 달하며 이원 화합물 중에서 가장 높은 녹는점 중 하나입니다. 이는 더 높은 온도 요구가 MOCVD 및 LPE와 같은 화합물 반도체 에피택셜 공정에 사용되는 성능 능력을 초과할 때 매력적인 대안이 됩니다.
Semicorex TaC 코팅의 소재 데이터
프로젝트 |
매개변수 |
밀도 |
14.3(gm/cm3) |
방사율 |
0.3 |
CTE (×10-6/케이) |
6.3 |
경도(홍콩) |
2000 |
저항(Ω-cm) |
1×10-5 |
열 안정성 |
<2500℃ |
흑연 치수 변경 |
-10~-20um (참고값) |
코팅 두께 |
≥20um 일반 값(35um±10um) |
|
|
위의 값은 일반적인 값입니다. |
|
Semicorex TaC 코팅 흑연 부품은 까다로운 반도체 처리 환경을 견딜 수 있도록 특별히 설계된 정밀 가공 부품입니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex TaC 코팅 흑연 커버는 결정 성장 및 에피택셜(epi) 공정을 위한 열 응용 분야의 최첨단 솔루션을 나타냅니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex TaC 코팅 웨이퍼 서셉터는 반도체 에피택셜(epi) 처리를 위한 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착)로에 사용되는 중요한 구성 요소입니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트는 특히 에피택셜(epi) 처리 단계에서 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 솔루션입니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기SiC(탄화규소) 단결정 성장로 혁신의 정점인 Semicorex TaC 코팅 가이드 링. 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 세심하게 설계된 이 가이드 링은 비교할 수 없는 정밀도와 신뢰성으로 결정 성장 공정을 재정의할 것을 약속합니다.
더 읽어보기문의 보내기