TaC 코팅 튜브

Semicorex TaC 코팅 튜브의 힘은 기본 소재와 특수 코팅의 시너지 효과적인 결합에 있습니다.

고순도 등방성 흑연 파운데이션:TaC 코팅 튜브의 핵심은 초고순도 등방성 흑연으로 구성되며, 우수한 열 전도성, 낮은 열팽창 및 열충격에 대한 고유한 저항성으로 유명합니다. 이 기반은 반도체 처리의 급격한 온도 변화와 높은 열 부하 특성을 견딜 수 있는 강력하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다.

탄탈륨 카바이드---내구성과 불활성의 방패:CVD를 적용한 TaC 코팅은 흑연 기판을 변형하여 탁월한 경도, 내마모성 및 화학적 불활성을 부여합니다. 이 보호층은 반도체 제조 중에 발생하는 공격적인 가스, 플라즈마 및 반응성 종에 대한 장벽 역할을 하여 튜브의 구조적 무결성과 수명을 보장합니다.

이 독특한 재료 조합은 고급 반도체 제조에 중요한 다양한 이점을 제공합니다.

타의 추종을 불허하는 온도 저항:TaC는 알려진 모든 물질 중 가장 높은 녹는점 중 하나를 자랑하며, 탄화규소(SiC)도 능가합니다. 이러한 극도의 내열성을 통해 TaC 코팅 튜브는 2500°C를 초과하는 온도가 필요한 공정에서 안정적으로 작동할 수 있으며 열 예산이 까다로운 차세대 반도체 장치의 생산이 가능합니다.

중요한 공정 제어를 위한 초고순도:반도체 제조에서는 깨끗한 공정 환경을 유지하는 것이 무엇보다 중요합니다. 고순도 흑연을 사용하고 세심한 CVD 코팅 공정을 통해 TaC 코팅 튜브에서 가스 방출이나 입자 생성을 최소화하여 민감한 웨이퍼 표면과 장치 성능을 손상시킬 수 있는 오염을 방지합니다.

흔들리지 않는 내화학성:TaC 코팅 튜브의 화학적 불활성은 에칭, 증착, 어닐링과 같은 반도체 공정에서 일반적으로 사용되는 광범위한 부식성 가스, 반응성 이온 및 플라즈마 환경에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 이러한 강력한 화학적 안정성은 튜브 수명 연장, 유지 관리 요구 사항 감소, 전체 소유 비용 절감으로 이어집니다.

서비스 수명 연장을 위해 향상된 기계적 내구성:TaC 코팅과 흑연 기판 사이의 강력한 결합력은 TaC 코팅 튜브의 고유한 경도와 결합되어 마모, 침식 및 기계적 응력에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 이렇게 강화된 내구성은 서비스 수명을 연장하고 교체를 위한 가동 중지 시간을 줄여 프로세스 효율성과 처리량을 향상시킵니다.