탄탈륨 카바이드 도가니

Semicorex 탄탈륨 카바이드 도가니는 흑연으로 세심하게 제작된 후 SiC 결정 성장의 고온 및 화학적으로 까다로운 환경에서 탁월한 성능을 제공하는 조합인 탄탈륨 카바이드(TaC)로 코팅됩니다.

탄탈륨 카바이드는 탁월한 경도, 내화학성 및 극도로 높은 온도에서 구조적 무결성을 유지하는 능력으로 알려진 내화성 세라믹 소재입니다. 흑연 도가니에 TaC를 코팅함으로써 탄탈륨 카바이드 도가니는 이러한 유리한 특성을 이어받아 성능과 수명을 크게 향상시킵니다. TaC 코팅은 보호 장벽 역할을 하여 흑연이 성장 공정 중에 존재하는 SiC 재료 또는 기타 가스와 반응하는 것을 방지합니다. 이는 도가니의 무결성을 유지하고 SiC 결정의 품질을 손상시킬 수 있는 오염 물질이 유입되지 않도록 보장합니다.

탄탈륨 카바이드 도가니는 SiC 결정 성장에 필요한 높은 온도에서 작동할 수 있는 능력을 갖추고 있습니다. SiC 결정은 일반적으로 2000°C를 초과하는 온도에서 성장하므로 이러한 높은 온도를 일관되게 유지하는 것은 고품질 결정을 생산하는 데 중요합니다. TaC 코팅 흑연 도가니는 변형이나 품질 저하 없이 이러한 극한 조건을 견딜 수 있어 결정 성장 과정에 안정적인 환경을 제공합니다. 이러한 안정성은 반도체 응용 분야에 필요한 원하는 결정 크기, 순도 및 구조적 특성을 달성하는 데 필수적입니다.

탄탈륨 카바이드 도가니는 강한 내화학성을 갖고 있어 SiC 결정 성장에 필수적입니다. 성장 과정 전반에 걸쳐 SiC 결정 형성을 돕기 위해 다양한 가스와 반응종이 도입됩니다. 이러한 환경은 부식성이 높아 도가니의 구조적 완전성에 위험을 초래할 수 있습니다. TaC 코팅은 이러한 부식성 요소로부터 흑연을 효과적으로 보호하여 공정 중에 도가니가 손상되지 않고 기능을 유지하도록 보장합니다. 화학적 공격에 대한 이러한 저항성은 도가니의 수명을 연장할 뿐만 아니라 결정 성장 작업의 전반적인 효율성과 비용 효율성에도 기여합니다.