MOCVD용 웨이퍼 캐리어

MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착)의 정확한 요구 사항에 맞게 제작된 MOCVD용 Semicorex 웨이퍼 캐리어는 대규모 집적 회로용 단결정 Si 또는 SiC 처리에 없어서는 안 될 도구로 등장합니다. MOCVD 조성물용 웨이퍼 캐리어는 비교할 수 없는 순도, 고온 및 부식 환경에 대한 내성, 우수한 밀봉 특성을 자랑하여 깨끗한 분위기를 유지합니다. Semicorex는 품질과 비용 효율성을 융합한 MOCVD용 고성능 웨이퍼 캐리어를 제조 및 공급하는 데 전념하고 있습니다.

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제품 설명

MOCVD 응용 분야를 위한 MOCVD의 고급 설계용 Semicorex 웨이퍼 캐리어는 반도체 웨이퍼를 거치할 수 있도록 전문적으로 설계된 안전한 기반 역할을 합니다. 균일한 재료 레이어링을 위해 최적의 가스 분포를 촉진하는 동시에 웨이퍼를 단단히 고정하는 최적화된 디자인을 제공합니다. 화학 기상 증착(CVD)을 통해 실리콘 카바이드(SiC) 코팅으로 강화된 MOCVD용 웨이퍼 캐리어는 흑연의 탄력성과 CVD SiC의 고온 내구성, 미미한 열팽창 계수 보유, 균일한 열 분산 촉진 특성을 결합합니다. 이 평형은 웨이퍼 표면 온도의 무결성을 유지하는 데 중요합니다.

부식 방지, 화학적 복원력 및 그에 따른 작동 수명 연장과 같은 특성을 자랑하는 MOCVD용 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼의 구경과 수율을 크게 향상시킵니다. 내구성은 직접적인 경제적 이점을 제공하므로 MOCVD용 웨이퍼 캐리어는 반도체 생산 작업을 위한 현명한 조달 선택으로 자리매김합니다.

웨이퍼의 에피택셜 공정에 맞게 세심하게 맞춤 제작된 MOCVD용 Semicorex 웨이퍼 캐리어는 고온로 내에서 웨이퍼를 안전하게 운송하는 데 탁월합니다. 내구성이 뛰어난 프레임워크로 인해 웨이퍼가 손상되지 않고 유지되므로 중요한 에피택셜 성장 단계에서 손상 가능성이 줄어듭니다.**