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실리콘 소재 소개

실리콘은 산소 다음으로 지구상에서 두 번째로 풍부한 원소입니다. 대부분의 실리콘은 토양, 암석, 자연수, 나무 및 식물에서 발견됩니다.

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반도체 산업에서 고열 전도성 SiC 세라믹에 대한 수요가 증가하는 이유는 무엇입니까?

현재 탄화규소(SiC)는 열전도성 세라믹 재료에 대한 국내외 연구가 매우 활발한 분야입니다.

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현대 반도체 제조의 어닐링 공정

기술 노드가 계속 축소됨에 따라 매우 얕은 접합을 형성하는 것은 중요한 과제를 제시합니다. RTA(Rapid Thermal Annealing) 및 FLA(Flash Lamp Annealing)를 포함한 열 어닐링 공정은 확산을 최소화하면서 높은 불순물 활성화율을 유지하고 최적의 장치 성능을 보장하는 중요한 기술입니다.

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반도체 제조에서는 식각 공정의 정밀도와 안정성이 무엇보다 중요합니다. 고품질 에칭을 달성하는 데 있어 중요한 요소 중 하나는 공정 중에 웨이퍼가 트레이에서 완벽하게 편평한지 확인하는 것입니다. 편차가 있으면 이온 충격이 고르지 않게 되어 바람직하지 않은 각도와 에칭 속도의 변화가 발생할 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 엔지니어들은 에칭 품질과 안정성을 크게 향상시킨 정전 척(ESC)을 개발했습니다. 이 기사에서는 웨이퍼 접착 뒤에 숨어 있는 정전기 원리라는 한 가지 주요 측면에 초점을 맞춰 ESC의 설계와 기능을 자세히 ......

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칩 제조: 박막 공정

반도체 박막 증착 공정은 현대 마이크로전자 공학 기술의 필수 구성 요소입니다. 여기에는 반도체 기판에 하나 이상의 얇은 재료 층을 증착하여 복잡한 집적 회로를 구성하는 작업이 포함됩니다.

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성장 초기 단계의 온도 구배 제어를 통해 고품질 SiC 결정 성장 달성

실리콘 카바이드(SiC)는 고전압 및 고온 응용 분야에서의 탁월한 성능으로 인해 최근 몇 년 동안 큰 주목을 받아온 광대역 간격 반도체 소재입니다. 본 연구에서는 수정된 공정 조건을 사용하여 성장한 SiC 결정의 다양한 특성을 체계적으로 탐구합니다.

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반도체 산업에서 고열 전도성 SiC 세라믹에 대한 수요가 증가하는 이유는 무엇입니까?

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세라믹 정전 척은 실제로 어떻게 생산됩니까?

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