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반도체의 정밀 세라믹 성분

정밀 세라믹 부품은 포토 리소그래피, 에칭, 박막 증착, 이온 이식, CMP 등과 같은 포토 리원도 제조의 주요 공정에서 코어 장비의 주요 구성 요소입니다. 예 : 베어링, 가이드 레일, 라이너, 정전기 척, 기계식 처리 암 등과 같은.

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반도체 샤워 헤드

가스 분포판의 표면은 수백 또는 수천 개의 작고 정확하게 배열 된 구멍을 특징으로하며, 정밀하게 짠 신경망과 비슷합니다.

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디스크 세라믹 멤브레인

새로운 분리 기술로서, 세라믹 막 여과 장비의 핵심은 세라믹 멤브레인 (필터 요소)입니다.

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알루미나 재료 소개

알루미나 세라믹 성분은 높은 경도, 높은 기계 강도, 초마 내마모성, 고온 저항, 높은 저항력 및 우수한 전기 절연 성능과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다.

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실리콘 카바이드 전력 장치 산업

전력 반도체 (전력 전자 장치라고도 함)는 전자 장치의 전력 변환 및 회로 제어를위한 핵심 구성 요소입니다.

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세라믹 히터

반도체 제조의 프론트 엔드 공정 (FEOL)에서 웨이퍼는 다양한 공정 처리를 받아야하며, 특히 웨이퍼는 특정 온도로 가열되어야하며, 온도의 균일 성이 제품 수율에 매우 중요한 영향을 미치기 때문에 엄격한 요구 사항이 있습니다. 동시에, 반도체 장비는 진공, 혈장 및 화학적 가스가 있으면 세라믹 히터를 사용해야합니다.

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