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SiC(실리콘 카바이드) 생산 공정에는 재료 측면의 기판 준비 및 에피택시, 칩 설계 및 제조, 장치 패키징, 마지막으로 다운스트림 애플리케이션 시장으로의 유통이 포함됩니다. 이러한 단계 중에서 기판 재료 처리는 SiC 산업에서 가장 어려운 측면입니다. SiC 기판은 단단하고 부서지기 쉬우므로 절단, 연삭 및 연마가 매우 어렵습니다. 이는 가공 중 결함이 발생할 가능성을 높이고 수율을 감소시킵니다. 현재 해외 주요 SiC 제조사들은 6인치에서 8인치 SiC 웨이퍼로 전환을 계획하고 있다. 8인치 기판과 관련된 문제를 극복하는 것은 ......

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실리콘카바이드(SiC) 결정성장로

결정 성장은 탄화 규소 기판 생산의 핵심 링크이며 핵심 장비는 결정 성장로입니다. 전통적인 결정질 실리콘 등급 결정 성장로와 유사하게, 노 구조는 그다지 복잡하지 않으며 주로 노 본체, 가열 시스템, 코일 전달 메커니즘, 진공 획득 및 측정 시스템, 가스 경로 시스템, 냉각 시스템으로 구성됩니다. , 제어 시스템 등이 있으며, 그중 열장 및 공정 조건에 따라 실리콘 카바이드 결정의 품질, 크기, 전도성 특성 및 기타 주요 지표가 결정됩니다.

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TaC 코팅 흑연 부품의 응용 및 개발 과제

질화갈륨(GaN), 탄화규소(SiC) 등 3세대 와이드 밴드갭 반도체 소재는 탁월한 광전자 변환 및 마이크로파 신호 전송 기능으로 유명합니다. 이 소재는 고주파수, 고온, 고전력 및 내방사선 전자 장치의 까다로운 요구 사항을 충족합니다. 따라서 차세대 이동 통신, 신에너지 차량, 스마트 그리드 및 LED 기술 분야에서 광범위한 응용 가능성을 가지고 있습니다. 3세대 반도체 산업의 종합적인 발전을 위해서는 핵심 핵심 기술의 돌파구, 소자 설계 및 혁신의 지속적인 발전, 수입 의존도 해소가 시급히 필요합니다.

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실리콘 카바이드 응용

실리콘 카바이드는 신흥 산업과 전통 산업에 많은 응용 분야를 가지고 있습니다. 현재 세계 반도체 시장 규모는 1000억 위안을 넘어섰다. 2025년까지 전 세계 반도체 제조재료 매출은 395억 달러에 달할 것으로 예상되며, 이 중 탄화규소 반도체 시장은 2025년 25억 달러 규모의 시장 규모에 이를 것으로 예상된다. 전통적인 세라믹, 내화물, 고온, 연삭 및 기타 분야에서 여전히 최고의 응용 성능을 가진 재료입니다.

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SiC 보트란 무엇이며 다양한 제조 공정은 무엇입니까?

탄화규소 보트의 약자인 SiC 보트는 고온 처리 중에 웨이퍼를 운반하기 위해 용광로 튜브에 사용되는 내열성 액세서리입니다. 고온에 대한 저항성, 화학적 부식, 탁월한 열 안정성 등 탄화규소의 뛰어난 특성으로 인해 SiC 보트는 확산, 산화, 화학 기상 증착(CVD), 어닐링 등 다양한 열처리 공정에 광범위하게 활용됩니다.

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SiC 기판 처리의 주요 단계

실리콘 카바이드(SiC) 기판의 주요 매개변수

실리콘카바이드(SiC) 결정성장로

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