새로운 분리 기술로서, 세라믹 막 여과 장비의 핵심은 세라믹 멤브레인 (필터 요소)입니다.
알루미나 세라믹 성분은 높은 경도, 높은 기계 강도, 초마 내마모성, 고온 저항, 높은 저항력 및 우수한 전기 절연 성능과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다.
전력 반도체 (전력 전자 장치라고도 함)는 전자 장치의 전력 변환 및 회로 제어를위한 핵심 구성 요소입니다.
반도체 제조의 프론트 엔드 공정 (FEOL)에서 웨이퍼는 다양한 공정 처리를 받아야하며, 특히 웨이퍼는 특정 온도로 가열되어야하며, 온도의 균일 성이 제품 수율에 매우 중요한 영향을 미치기 때문에 엄격한 요구 사항이 있습니다. 동시에, 반도체 장비는 진공, 혈장 및 화학적 가스가 있으면 세라믹 히터를 사용해야합니다.
3 세대 와이드 밴드 갭 반도체 재료로서, SIC (실리콘 카바이드)는 우수한 물리적 및 전기적 특성을 가지므로 전력 반도체 장치 분야에 광범위한 응용 프로그램 전망이 있습니다.
반도체 세라믹 부품은 고급 세라믹에 속하며 반도체 제조 공정의 필수 부분입니다. 제조를위한 원료는 일반적으로 산화 알루미늄, 실리콘 카바이드, 질화 알루미늄, 질화물, 이트륨 산화물, 지르코늄 산화 지르코늄 등과 같은 고급, 초 미세 무기 재료입니다.