TAC 코팅 된 도덕은 실리콘 카바이드 (SIC) 결정의 성장 공정에서 반응 용기로서 중요한 기술적 솔루션이되었다.
실리콘 카바이드 세라믹 막은 높은 화학적 안정성, 우수한 열 충격 저항, 강한 친수성, 큰 막 플럭스, 높은 기계적 강도, 농축 기공 크기 분포 및 우수한 기공 구조 구배의 특성을 갖는다.
고유 실리콘은 불순물이없는 순수한 실리콘을 지칭한다.
실리콘 카바이드 세라믹 멤브레인은 수처리 및 산업 분리 분야에서 상당한 이점이 있으며, 응용 시나리오는 광범위합니다.
트랜지스터 크기를 축소하고 태양 전지 효율을 축소하기위한 경주는 열 처리 장비를 한계로 밀고 있습니다.
현재 실리콘 카바이드는 3 세대의 반도체를 지배하고 있습니다. 실리콘 카바이드 장치의 비용 구조에서 기판은 47%를 차지하고 에피 택시는 23%를 기여합니다. 이 두 구성 요소는 함께 전체 제조 비용의 약 70%를 차지하므로 실리콘 카바이드 장치 생산 체인에 중요합니다.
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