실리콘 카바이드 캔틸레버 패들

세미코렉스탄화규소 캔틸레버 패들은 일반적으로 고온 처리로에서 수평 웨이퍼 보트와 함께 사용됩니다. 웨이퍼 보트를 용광로 튜브 안팎으로 정확하고 원활하게 이동할 수 있어 반도체 제조의 안정성과 수율을 강력하게 지원합니다. 고온 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 Semicorex 탄화 규소 캔틸레버 패들은 산소(반응 가스), 질소(보호 가스) 및 소량의 염화수소로 구성된 가혹한 작업 환경에서 약 1250°C에서 안정적으로 작동합니다.

높은 표준 재료 선택

프리미엄 제품은 우수한 원자재를 사용합니다. Semicorex는 고순도 탄화규소 원료를 채택하여 탄화규소 캔틸레버 패들이 업계 최고의 품질을 보장합니다. 베이스는 불순물 함량이 100ppm 미만으로 제어된 고품질 반응 결합 탄화규소로 만들어졌으며 표면은 불순물이 1ppm 미만으로 유지되는 CVD SiC 코팅으로 덮여 있습니다. Semicorex 탄화규소 캔틸레버 패들을 만드는 이 높은 표준 소재는 아래와 같은 우수한 특성을 제공합니다.

1. 매우 높은 청결도:세미코렉스탄화규소캔틸레버 패들은 순도가 높고 작동 중에 원치 않는 불순물을 방출하지 않아 웨이퍼 및 처리로에 대한 오염을 근본적으로 제거합니다.

2. 안정적인 열 안정성:세미코렉스탄화규소 캔틸레버 패들은 1250°C에서 안정적으로 작동하며 용광로에 들어가고 나갈 때 변형이나 균열 없이 급격한 온도 변화를 견딥니다.

3. 우수한 기계적 강도 :세미코렉스탄화규소 캔틸레버 패들은 높은 경도와 강도를 자랑하며 잦은 밀고 당기기 작업 시 마모와 긁힘을 견딜 수 있습니다.

4. 신뢰할 수 있는 내식성:세미코렉스실리콘 카바이드 캔틸레버 패들뛰어난 화학적 안정성으로 인해 강알칼리 및 산에 의한 심한 부식에도 견딜 수 있습니다.

세심한 디자인과 정밀가공

Semicorex는 통합 3D 프린팅 기술을 사용하여 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들을 형성합니다. 이를 통해 조인트의 약한 응력 지점이 없어 작동 중 안정적인 부하 용량을 제공합니다. 또한 탄화규소 캔틸레버 패들의 전면적인 맞춤화도 지원합니다. 캔틸레버 패들은 길이, 구조 및 인터페이스 사양을 정확하게 맞춤화할 수 있으며 퍼니스 튜브 직경, 웨이퍼 보트 치수, 자동 로딩 시스템 및 특정 프로세스 요구 사항에 완벽하게 일치하도록 사용할 수 있습니다.