Semicorex는 MOCVD용 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 신뢰할 수 있는 공급업체이자 제조업체입니다. 당사의 제품은 웨이퍼 칩의 에피층을 성장시키는 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. MOCVD에서 Center plate로 사용되는 제품으로 Gear 또는 Ring 형태의 디자인을 가지고 있습니다. 내열성 및 내식성이 높아 극한 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 ICP 플라즈마 식각 시스템용 SiC 코팅 캐리어는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 당사의 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공하는 미세 SiC 크리스탈 코팅이 특징입니다.
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