실리콘 웨이퍼 히터

Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사는 단결정 성장 공정 및 재료를 위한 히터, 지원 도가니, 열 차폐 및 절연 부품을 제공합니다. 우리는 반도체 산업에 중점을 두고 있으며 실리콘 웨이퍼 히터는 가격 이점이 뛰어나고 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex Silicon Wafer Heater는 MOCVD를 사용하여 탄화규소를 코팅한 제품으로 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온 Furnace에서 작동할 수 있습니다. SiC 코팅은 고밀도의 내마모성 실리콘 카바이드(SiC) 코팅입니다.
당사의 Silicon Wafer Heater는 내식성 및 내열성이 우수하고 열전도율이 우수합니다. 우리는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연 위에 SiC를 얇은 층으로 도포합니다.
Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 우리의 Silicon Wafer Heater는 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

실리콘 웨이퍼 히터의 매개변수

기술 사양	VET-M3
부피 밀도(g/cm3)	≤1.85
회분 함량(PPM)	≤500
쇼어 경도	≤45
비저항(μ.Ω.m)	¤12
굽힘 강도(Mpa)	≤40
압축 강도(Mpa)	≤70
최대 입자 크기(μm)	43
열팽창 계수 Mm/°C	≥4.4*10-6

실리콘 웨이퍼 히터의 특징

- 실리콘 카바이드 코팅은 CVD 방법을 사용하여 수명을 향상시켰습니다.
- 고성능 정제 경질 탄소로 만든 단열재.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.
- 고순도 흑연 및 SiC 코팅으로 핀홀 저항 및 수명 연장

우리는 산화 방지 및 수명이 긴 흑연 도가니, 흑연 몰드 및 흑연 히터의 모든 부품을 제공할 수 있습니다.